磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺，指基于磁懸浮軸承技術(shù)制成的高精密半導體制造設備組件。與傳統(tǒng)機械式轉(zhuǎn)臺相比，磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺具備工作精度高、穩(wěn)定性好、綠色環(huán)保、旋轉(zhuǎn)速度快、使用壽命長、維護成本低等優(yōu)勢，在晶圓加工領域擁有廣闊應用前景。
磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺通常由磁懸浮軸承、位置傳感器、機械總裝、電氣連接系統(tǒng)、轉(zhuǎn)子系統(tǒng)等組件構(gòu)成。磁懸浮軸承具備節(jié)能降噪、無機械接觸、運轉(zhuǎn)速度快、維護成本低等優(yōu)勢，為磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺核心組件，對其工作精度以及旋轉(zhuǎn)速度起到重要作用。隨著磁懸浮技術(shù)不斷進步，我國磁懸浮軸承產(chǎn)量及質(zhì)量不斷提高，這將為磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺行業(yè)發(fā)展提供有利條件。
近年來，國家及地方政府對于磁懸浮行業(yè)發(fā)展高度重視，已出臺多項相關政策。2024年3月，山東省政府發(fā)布《支持磁懸浮產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展十八條措施》，文件明確提到要推動磁懸浮產(chǎn)業(yè)科技成果轉(zhuǎn)化，加大對于磁懸浮動力裝備關鍵技術(shù)的創(chuàng)新突破。未來伴隨政策支持，我國磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺行業(yè)發(fā)展速度有望加快。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025-2029年全球及中國磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺行業(yè)研究及十五五規(guī)劃分析報告》顯示，磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺在晶圓加工領域擁有廣闊應用前景。近年來，隨著全球半導體產(chǎn)業(yè)向我國大陸轉(zhuǎn)移，我國晶圓產(chǎn)能持續(xù)擴張。2024年我國晶圓代工產(chǎn)能占據(jù)全球總產(chǎn)能近兩成。磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺可用于快速退火、擴散、快速熱處理、清洗、刻蝕、旋涂以及MOCVD等晶圓加工環(huán)節(jié)。未來隨著下游行業(yè)發(fā)展速度加快，我國磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺市場空間將得到進一步擴展。
全球磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺核心技術(shù)主要被德國、美國、日本等發(fā)達國家掌握，德國PI集團占據(jù)市場較大份額。在本土方面，近年來，隨著本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力，我國磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺技術(shù)不斷進步，其市場國產(chǎn)化進程有所加快。蘇磁科技專注于磁懸浮技術(shù)及其相關產(chǎn)品的研發(fā)及應用，其推出的磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺已進入產(chǎn)線試運行階段。
新思界
行業(yè)分析人士表示，受益于全球晶圓產(chǎn)業(yè)向我國大陸轉(zhuǎn)移，我國磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺行業(yè)發(fā)展速度不斷加快。與海外發(fā)達國家相比，我國磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺行業(yè)起步較晚，但發(fā)展勢頭迅猛，本土企業(yè)已掌握其核心技術(shù)。未來隨著技術(shù)進步，我國磁懸浮晶圓轉(zhuǎn)臺行業(yè)景氣度將進一步提升。
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