磁懸浮渦輪分子泵,指利用磁懸浮技術(shù)實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)子無接觸懸浮的高速真空獲得設(shè)備。磁懸浮渦輪分子泵以磁懸浮軸承為核心組件,具備轉(zhuǎn)速高、運(yùn)行噪音小、智能化程度高、安全可靠性高、使用壽命長等優(yōu)勢,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、工業(yè)生產(chǎn)、新能源以及醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域。
磁懸浮分子泵種類豐富,主要包括磁懸浮渦輪分子泵、磁懸浮復(fù)合分子泵、磁懸浮牽引分子泵等。隨著節(jié)能環(huán)保觀念深入以及技術(shù)成熟度提升,磁懸浮分子泵市場空間不斷擴(kuò)展,這將為磁懸浮渦輪分子泵行業(yè)發(fā)展帶來機(jī)遇。
磁懸浮渦輪分子泵主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、工業(yè)生產(chǎn)、新能源以及醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,磁懸浮渦輪分子泵可用于薄膜沉積、光刻、刻蝕、離子注入等晶圓加工環(huán)節(jié);在工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域,其可用于冷凍干燥、表面分析等環(huán)節(jié);在新能源領(lǐng)域,其可用于光伏設(shè)備中。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025-2029年全球及中國磁懸浮渦輪分子泵行業(yè)研究及十五五規(guī)劃分析報(bào)告》顯示,在應(yīng)用需求帶動(dòng)下,全球磁懸浮渦輪分子泵行業(yè)發(fā)展速度不斷加快。2024年全球磁懸浮渦輪分子泵市場規(guī)模達(dá)到近5億美元,同比增長超過5%。預(yù)計(jì)未來一段時(shí)間,隨著技術(shù)進(jìn)步以及應(yīng)用范圍進(jìn)一步擴(kuò)展,磁懸浮渦輪分子泵市場規(guī)模還將有所增長。預(yù)計(jì)到2030年,全球磁懸浮渦輪分子泵市場規(guī)模將突破6.5億美元。
全球磁懸浮渦輪分子泵主要生產(chǎn)企業(yè)包括英國愛德華(Edwards)、日本大阪真空(Osaka Vacuum)、德國萊寶(Leybold)以及德國Pfeiffer Vacuum GmbH等。在本土方面,我國磁懸浮渦輪分子泵市場主要參與者包括蘇磁科技、飛旋科技、世紀(jì)久泰等。蘇磁科技專注于磁懸浮高端裝備的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售,擁有多項(xiàng)磁懸浮渦輪分子泵相關(guān)專利。
雖然應(yīng)用前景廣闊,但我國磁懸浮渦輪分子泵行業(yè)發(fā)展仍面臨一定挑戰(zhàn)。一方面,磁懸浮渦輪分子泵生產(chǎn)難度較大、運(yùn)行成本較高,我國許多零部件仍依賴進(jìn)口;另一方面,全球磁懸浮渦輪分子泵市場主要被海外發(fā)達(dá)國家占據(jù)主導(dǎo),本土企業(yè)競爭實(shí)力仍有待提升。
新思界
行業(yè)分析人士表示,磁懸浮渦輪分子泵作為一種高性能分子泵,在眾多高新技術(shù)領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。目前,我國磁懸浮渦輪分子泵生產(chǎn)企業(yè)較少,市場占比較低。未來本土企業(yè)亟需加大研發(fā)投入力度,以提升自身技術(shù)水平。
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