磁懸浮渦輪分子泵，指利用磁懸浮技術(shù)實現(xiàn)轉(zhuǎn)子無接觸懸浮的高速真空獲得設(shè)備。磁懸浮渦輪分子泵以磁懸浮軸承為核心組件，具備轉(zhuǎn)速高、運行噪音小、智能化程度高、安全可靠性高、使用壽命長等優(yōu)勢，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、工業(yè)生產(chǎn)、新能源以及醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域。
磁懸浮分子泵種類豐富，主要包括磁懸浮渦輪分子泵、磁懸浮復(fù)合分子泵、磁懸浮牽引分子泵等。隨著節(jié)能環(huán)保觀念深入以及技術(shù)成熟度提升，磁懸浮分子泵市場空間不斷擴展，這將為磁懸浮渦輪分子泵行業(yè)發(fā)展帶來機遇。
磁懸浮渦輪分子泵主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、工業(yè)生產(chǎn)、新能源以及醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，磁懸浮渦輪分子泵可用于薄膜沉積、光刻、刻蝕、離子注入等晶圓加工環(huán)節(jié)；在工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域，其可用于冷凍干燥、表面分析等環(huán)節(jié)；在新能源領(lǐng)域，其可用于光伏設(shè)備中。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025-2029年全球及中國磁懸浮渦輪分子泵行業(yè)研究及十五五規(guī)劃分析報告》顯示，在應(yīng)用需求帶動下，全球磁懸浮渦輪分子泵行業(yè)發(fā)展速度不斷加快。2024年全球磁懸浮渦輪分子泵市場規(guī)模達到近5億美元，同比增長超過5%。預(yù)計未來一段時間，隨著技術(shù)進步以及應(yīng)用范圍進一步擴展，磁懸浮渦輪分子泵市場規(guī)模還將有所增長。預(yù)計到2030年，全球磁懸浮渦輪分子泵市場規(guī)模將突破6.5億美元。
全球磁懸浮渦輪分子泵主要生產(chǎn)企業(yè)包括英國愛德華（Edwards）、日本大阪真空（Osaka Vacuum）、德國萊寶（Leybold）以及德國Pfeiffer Vacuum GmbH等。在本土方面，我國磁懸浮渦輪分子泵市場主要參與者包括蘇磁科技、飛旋科技、世紀久泰等。蘇磁科技專注于磁懸浮高端裝備的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，擁有多項磁懸浮渦輪分子泵相關(guān)專利。
雖然應(yīng)用前景廣闊，但我國磁懸浮渦輪分子泵行業(yè)發(fā)展仍面臨一定挑戰(zhàn)。一方面，磁懸浮渦輪分子泵生產(chǎn)難度較大、運行成本較高，我國許多零部件仍依賴進口；另一方面，全球磁懸浮渦輪分子泵市場主要被海外發(fā)達國家占據(jù)主導(dǎo)，本土企業(yè)競爭實力仍有待提升。
新思界
行業(yè)分析人士表示，磁懸浮渦輪分子泵作為一種高性能分子泵，在眾多高新技術(shù)領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。目前，我國磁懸浮渦輪分子泵生產(chǎn)企業(yè)較少，市場占比較低。未來本土企業(yè)亟需加大研發(fā)投入力度，以提升自身技術(shù)水平。
關(guān)鍵字：
