雙頻激光干涉儀,指基于光學(xué)干涉原理,通過施加軸向磁場產(chǎn)生兩個頻率相近但旋轉(zhuǎn)方向相反的圓偏振光,進而對頻率變化進行檢測的儀器。雙頻激光干涉儀具備動態(tài)測量效率高、工作精度高、抗干擾能力強、測量范圍寬等優(yōu)勢,在光學(xué)檢測、工業(yè)制造、航空航天、半導(dǎo)體制造、科學(xué)研究等領(lǐng)域擁有巨大應(yīng)用潛力。
雙頻激光干涉儀主要包括雙折射-塞曼雙頻激光干涉儀以及塞曼雙頻激光干涉儀兩種類型。雙折射-塞曼雙頻激光干涉儀的頻率間隔在1~30MHz之間,測量速度較快,我國已有多家企業(yè)具備其規(guī);a(chǎn)實力。未來隨著雙折射-塞曼雙頻激光干涉儀市場占比提升,雙頻激光干涉儀行業(yè)發(fā)展速度有望加快。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025-2030年雙頻激光干涉儀行業(yè)市場深度調(diào)研及投資前景預(yù)測分析報告》顯示,雙頻激光干涉儀在眾多領(lǐng)域擁有巨大應(yīng)用潛力,主要包括光學(xué)檢測、工業(yè)制造、航空航天、半導(dǎo)體制造、科學(xué)研究等。在光學(xué)檢測領(lǐng)域,雙頻激光干涉儀可用于光學(xué)元件測量過程中;在工業(yè)制造領(lǐng)域,其可用于數(shù)控機床重復(fù)定位精度以及直線運動定位精度檢測過程中;在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,其作為光刻機重要組成部分,可用于監(jiān)測晶圓臺定位精度。
激光干涉儀用途廣泛,行業(yè)發(fā)展空間持續(xù)擴展。2024年全球激光干涉儀市場規(guī)模達到近10億美元,同比增長近5%。按照激光發(fā)射頻率不同,激光干涉儀可分為雙頻激光干涉儀和單頻激光干涉儀兩種類型。與單頻激光干涉儀相比,雙頻激光干涉儀在可測距離、測量速度以及抗干擾能力等方面更具優(yōu)勢,市場占比較高。未來隨著激光干涉儀市場需求增長,雙頻激光干涉儀行業(yè)景氣度有望提升。
我國雙頻激光干涉儀主要供應(yīng)商包括北京鐳測科技有限公司、南京英特飛光電技術(shù)有限公司、深圳立儀科技有限公司等。鐳測科技專注于激光精密測量系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)及應(yīng)用,為我國較早實現(xiàn)雙頻激光干涉儀批量化生產(chǎn)的企業(yè)。
新思界
行業(yè)分析人士表示,雙頻激光干涉儀性能優(yōu)異,在眾多領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。未來隨著下游行業(yè)發(fā)展速度加快,我國雙頻激光干涉儀市場空間將得到進一步擴展。目前,我國已有多家企業(yè)具備雙頻激光干涉儀自主研發(fā)及生產(chǎn)實力,鐳測科技占據(jù)市場較大份額。
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