半導體用石英陶瓷是新型耐高溫材料 可制備坩堝及半導體元器件

　　石英陶瓷屬于無機非金屬材料，是一種新型耐高溫材料，擁有導熱系數低、熱膨脹系數小、熱穩定性好特點，并且具有強度大、硬度大、耐磨、耐腐蝕、絕緣、抗熱震等優點。應用在半導體領域的石英陶瓷純度大于等于99.9%，可用來制備石英陶瓷坩堝、石英陶瓷器件等，即半導體用石英陶瓷。

 

　　半導體用石英陶瓷坩堝主要用于晶體硅熔煉、硅片生產方面。按照形狀來看，半導體用石英陶瓷坩堝包括方形、圓形兩大類。方形石英陶瓷坩堝主要用于多晶硅制備領域；圓形石英陶瓷坩堝主要用于單晶硅制備方面。隨著光伏發電產業規模不斷擴大、技術不斷進步，太陽能電池用晶體硅需求量持續增加，使得市場對大尺寸、薄壁半導體用石英陶瓷坩堝需求不斷增長。

 

　　半導體用石英陶瓷器件主要是溫度控制元器件，例如熱電偶、熱電阻、溫度傳感器等。熱電偶為常見儀器用測溫元件，可直接測量溫度獲取信息；熱電阻為中低溫溫度檢測元件，測量精度高；溫度傳感器以熱電偶、熱電阻為傳感元件，可探測溫度并轉換為可用輸出信號。此外，半導體用石英陶瓷還可用作半導體元器件的支撐材料、高溫高頻電子元器件的封裝/絕緣材料等。

 

　　根據新思界產業研究中心發布的《2024-2028年半導體用石英陶瓷行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示，半導體用石英陶瓷制備是以熔融石英、石英玻璃為材料，粉碎后澆注成型，再經高溫燒結工藝制得，后續可根據需求進行磨削、拋光處理，其中，成型工藝可以采用振動壓力注漿成型、凝膠注模成型等方法。半導體用石英陶瓷對純度、內在質量、表面缺陷、尺寸精度等要求嚴格。

 

　　2023年12月，國家發改委修訂發布新版《產業結構調整指導目錄（2024年本）》，于2024年2月1日正式實施，鼓勵類項目中包括高純石英原料（純度大于等于99.999%）、半導體用高端石英坩堝、半導體用石英陶瓷器件（純度大于等于99.9%）、化學氣相合成石英玻璃等制造技術開發與生產。這將推動我國半導體用石英陶瓷行業進一步發展壯大。

 

　　新思界行業分析人士表示，蘇州創新陶瓷有限公司是我國半導體用石英陶瓷生產企業之一，經營范圍包括開發、生產、銷售熔石英陶瓷、太陽能坩堝，可供應太陽能光伏產業用多晶硅鑄錠方形石英陶瓷坩堝產品。

 

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