CLBO晶體即硼酸銫鋰晶體,化學式CsLiB6O10,是一種非線性光學晶體,屬于四方晶系。
CLBO晶體具有光譜范圍寬、非線性系數大、抗光損閾值高、溫度容差及接收角度大、紫外光透過率高等優勢,常用于大功率Nd:YAG(摻釹釔鋁石榴石)激光系統的四倍頻(FHG)、五倍頻,在紫外激光雷達、生物醫學、光學通信、微納加工、光致發光、半導體光刻等領域具有廣闊應用空間。
CLBO晶體是深紫外激光變頻鏈中的核心材料,其能夠將輸入的紅外或可見光等常見波長激光變頻輸出為波長更短、能量更高的深紫外激光,全球超九成深紫外固態激光光源依賴于CLBO晶體。
CLBO晶體也是光刻機等尖端裝備中產生極紫外光(EUV)的關鍵材料之一。EUV光刻技術是延續摩爾定律的核心突破,能夠支持7nm及以下先進制程芯片制造,應用前景廣闊,預計2025年-2030年,全球EUV光刻機市場規模將從120億美元增長至220億美元。CLBO晶體作為產生極紫外光的關鍵材料,市場空間也將不斷擴大。
CLBO晶體具有特殊的晶體結構,決定了其極易潮解開裂的晶體特性,在生產制備、儲存與使用過程中,需要嚴格控制操作環境的溫度和濕度。CLBO晶體生長技術難度大、周期長,尤其是尺寸、高光學質量的CLBO晶體。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2029年CLBO晶體(硼酸銫鋰晶體)行業市場供需現狀及行業經營指標深度調查分析報告》顯示,由于易潮解開裂特性及生長難度大,CLBO晶體生產企業較少,且早期CLBO晶體商用生產技術主要由被國外壟斷。在國際市場上,CLBO晶體供應商包括立陶宛EKSMA Optics公司、日本Oxide公司等。
我國CLBO晶體相關企業包括福晶科技、悅能光電等,其中福晶科技是全球非線性光學晶體龍頭。福晶科技的CLBO晶體在深紫外波段的透光率達99%以上,間接供貨ASML(目前全球唯一的EUV光刻機供應商),CLBO晶體也已進入中科院EUV原型機供應鏈。根據年報信息顯示,2024年福晶科技非線性光學晶體營業收入2.35億元,同比增長14.9%。
新思界
行業分析人士表示,CLBO晶體具有優良的深紫外非線性特性,潛在應用空間廣闊。近年來,隨著制造業轉型升級、半導體工藝節點向7nm及以下演進,CLBO晶體應用需求不斷釋放。CLBO晶體技術壁壘高,目前全球商業化企業較少,我國已打破國際技術壟斷,具備CLBO晶體自主研發和供應能力。
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