三氯化硼，化學式為BCl₃，是一種無機化合物。高純三氯化硼，指純度達到5N級以上的三氯化硼，具有腐蝕性、還原性、熔點高、純度高等特點，在半導體制造領域擁有廣闊應用前景。
提純為高純三氯化硼制備關鍵環節，化學吸附法、物理吸附法、低溫精餾法等為其主要提純方法。低溫精餾法能夠對于三氯化硼所含雜質進行深度去除，為高純三氯化硼常用提純方法。
高純三氯化硼作為一種電子特氣，在半導體器件制造領域需求旺盛，其可參與干法蝕刻、離子注入、擴散摻雜等工藝環節。近年來，隨著全球半導體產業向我國大陸轉移，我國集成電路產量不斷提升。據國家工信部統計數據顯示，2023年我國集成電路產量達到3514億塊，同比增長6.9%。受益于下游行業發展速度加快，我國高純三氯化硼應用需求不斷增長。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年中國高純三氯化硼行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示，2023年我國高純三氯化硼市場規模達到近7億元，同比增長超過15%。未來伴隨技術進步，我國高純三氯化硼行業景氣度將進一步提升。預計到2029年，我國高純三氯化硼市場規模將突破15億元。
在行業發展初期，受技術壁壘高、生產成本高等因素限制，我國高純三氯化硼高度依賴進口。日本艾迪科株式會社（ADEKA）、日本昭和電工株式會社（Showa Denko KK）、日本大陽日酸株式會社（TAIYO NIPPON SANSO）等為全球知名高純三氯化硼供應商，同時占據我國市場主導地位。近年來，隨著國家政策支持以及本土企業持續發力，我國高純三氯化硼市場國產化進程有所加快。
我國高純三氯化硼主要生產商包括科利德、久策氣體、國順硅源、遠創氣體等。科利德具備6N5級高純三氯化硼自主研發及批量生產實力，其產品質量及技術水平已達到全球領先。據科利德企業招股書顯示，2022年公司高純三氯化硼產能利用率達到62.3%。
新思界
行業分析人士表示，隨著我國集成電路等半導體器件產能擴張、產量增長，高純三氯化硼作為電子特氣，應用需求日益旺盛。與日本等海外發達國家相比，我國高純三氯化硼行業起步較晚，但發展勢頭迅猛。本土企業已具備高品質高純三氯化硼自主研發及生產實力，未來我國國產產品市場占比將不斷提升。
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