四甲基氫氧化銨(TMAH)又稱氫氧化四甲基銨,是一種有機胺鹽堿性化合物,有無色結晶體及水溶液兩種形態,帶有氨臭味,易溶于水和有機溶劑。
TMAH具有強堿性及強氧化性,在電子、光學及化學工業中發揮著重要作用。電子級TMAH主要用作顯影液,應用于集成電路(IC)、液晶顯示(LCD)、光電子等場景。在化學工業中,TMAH可用作溶劑、稀釋劑、增稠劑等,應用在顏料、樹脂、涂料等領域,以提高材料的粘度和流動性。
近年來,集成電路等電子行業對化學品的雜質要求越來越嚴苛,TMAH因其不含金屬離子、高溫條件下分解無殘留等優勢,逐漸取代KOH、NaOH等無機堿顯影液,成為新一代顯影液原料。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2030年中國四甲基氫氧化銨(TMAH)行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示,2024年我國濕電子化學品市場規模約250億元,2030年有望增長至400億元,顯影液作為功能濕電子化學品之一,市場規模也將快速增長,進而將帶動TMAH市場需求空間擴大。
碳酸鹽電解法是國內TMAH主要生產工藝,該工藝主要合成原料包括三甲胺、碳酸二甲酯(DMC)等,我國三甲胺供應商包括山東華魯恒升、魯西化工、陜西興化化學、安徽凌天等。此外TMAH制備方法還包括沉淀法、加成法、離子交換樹脂法、離子膜電解法等。
TMAH技術壁壘高,全球市場主要由日本東京應化、美國三開化學、日本德山株式會社、韓國東友等國外企業占據主導。但近年來,我國企業逐漸打破了技術壟斷,實現了電子級TMAH顯影液國產替代,產品還外銷至韓國、日本、臺灣等地區。
我國TMAH相關企業包括杭州格林達電子材料股份有限公司(格林達)、信聯電子材料科技股份有限公司、南潤晶云工程技術(集團)股份有限公司等。其中格林達是國內TMAH顯影液龍頭,2004年自主研發了內第一套顯示面板用TMAH顯影液工業化生產線,目前其核心產品TMAH顯影液相關技術指標已達到SEMI G5標準要求。
新思界
行業分析人士表示,TMAH在電子、光學及化學工業中發揮著重要作用,尤其在電子工業中,TMAH是新一代顯影液主要原料,目前我國TMAH顯影液已突破技術壟斷,國產化率不斷提升,隨著集成電路、液晶顯示等行業發展,及本土企業技術升級,TMAH市場空間將進一步擴大。
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