五氟化銻，化學式為SbF5，是一種無機化合物。五氟化銻外觀呈無色透明液體或氣體，可溶于乙醚、無水乙醇和苯，不溶于喹啉和吡啶。五氟化銻具備質子給予能力強、路易斯酸性強、耐腐蝕等優勢，可用作銻化合物前驅體。
五氟化銻主要原材料包括三氧化二銻、五氯化銻等。三氧化二銻，又稱銻白，是一種具備催化性、阻燃性以及環保性的無機化合物，在工業生產、石油煉制等眾多領域應用廣泛。三氧化二銻制備方法主要包括干法和濕法兩種。近年來，隨著技術進步，我國三氧化二銻產量有所增長，這將為五氟化銻行業發展奠定良好基礎。
純化為五氟化銻制備關鍵環節，包括負壓蒸餾提純法、精餾提純法等。負壓蒸餾提純法指在操作溫度為50℃、操作壓力為-0.09MPa條件下，利用回流冷凝器對五氟化銻粗品進行蒸餾提純，該法具備操作流程簡單、成品收率高等優勢，但其成品純度較低；精餾提純法指利用精餾塔對五氟化銻進行提純，該法可用于制備高純度產品。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2030年中國五氟化銻（SbF5）行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示，五氟化銻為銻化合物前驅體，在半導體制造領域擁有廣闊應用前景，其可通過離子注入方式將銻引入晶圓中。近年來，隨著全球半導體產業向我國大陸轉移，我國晶圓產能持續擴張。2024年我國大陸占據全球晶圓總產能近兩成。高純度五氟化銻在晶圓制備過程中應用較多。未來隨著下游行業發展速度加快，我國五氟化銻市場需求將進一步增長。
我國五氟化銻主要生產企業包括威斯特（東營）特種氣體有限公司、天津長蘆華信化工股份有限公司、福建三明金氟化工科技有限公司、湖南凱美特氣體股份有限公司等。威斯特氣體正在積極推進電子新材料項目建設，一期項目建成后，其電子級五氟化銻年產能將達到1噸。三明金氟的含氟新材料及清潔生產提升項目已獲批，建成后其高純五氟化銻新增年產能將達到30噸。
新思界
行業分析人士表示，五氟化銻綜合性能優良，在半導體制造領域擁有潛在應用價值。未來隨著我國晶圓產能持續擴張，五氟化銻行業發展速度有望加快。受益于技術進步，我國五氟化銻市場參與者數量不斷增長。目前，我國企業正在積極推進高性能五氟化銻產能建設，未來其行業發展態勢將持續向好。
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