BARC即底部抗反射涂層(BottomAnti-ReflectionCoating),是抗反射涂層家族中的重要一員,在半導體生產光刻環節發揮著重要作用。
光刻技術旨在將掩模版上的精細圖案精準轉移到硅片的光刻膠層,然而,光刻過程中光線在光刻膠與硅襯底界面間反射,易造成駐波效應,致使圖案邊緣粗糙、線寬偏差,嚴重影響芯片制造精度與良品率。BARC的出現有效解決了這一難題,它被旋涂于硅襯底與光刻膠之間,通過吸收反射光,大幅降低界面反射率,提升光刻成像質量,保障芯片制造的高分辨率與高精度。
依據應用場景及所搭配光刻膠類別,BARC可細分為i-Line BARC、KrF BARC、ArF BARC以及iArF BARC等類型。
全球BARC市場呈現高度集中態勢,幾家國際化工巨頭憑借深厚技術積累、先進生產工藝及完善供應鏈體系,牢牢把控市場主導權。信越化學作為行業領軍者,依托在半導體材料領域的多元布局與強大研發實力,其BARC產品在純度、穩定性及與各類光刻工藝適配性上表現卓越,在全球市場占據顯著份額,尤其在高端制程應用中優勢突出。日本合成橡膠長期專注于高分子材料研發生產,為BARC產品賦予獨特性能,通過持續創新優化產品配方,在中高端市場站穩腳跟。日產化學利用自身精細化工專長,針對不同客戶需求定制差異化BARC解決方案,憑借優質服務與穩定產品質量,在全球范圍收獲大量客戶。美國的BrewerScience則以技術創新為驅動,率先推出多項前沿BARC技術,引領行業發展潮流,在新興光刻技術適配的BARC產品領域處于領先地位。
中國BARC市場曾長期被境外廠商壟斷,國內晶圓廠對信越化學、日本合成橡膠、日產化學以及BrewerScience等進口產品依賴度極高。不過,近年來隨著國內半導體產業崛起,本土企業加快追趕步伐,逐步打破這一局面。恒坤新材作為國內BARC領域頭部企業,經過多年研發攻關,成功實現產品量產,在國內市場份額逐年攀升。其產品性能不斷向國際先進水平靠攏,已進入國內多家主流晶圓廠供應鏈體系,部分產品憑借性價比優勢,對進口產品形成有效替代。
中國半導體產業蓬勃發展,為BARC市場注入強勁增長動力。一方面,國內晶圓廠持續擴產,先進制程產能逐步釋放,對高精度光刻工藝需求激增,作為光刻關鍵配套材料,BARC用量上升。另一方面,隨著5G、人工智能、物聯網等新興技術興起,各類芯片需求爆發,從消費電子到工業控制、汽車電子等多領域,對芯片性能與精度要求不斷提高,間接推動BARC市場擴容。據新思界發布的《
2025年中國BARC市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示,2024年,中國BARC市場規模近30億元,且增長態勢良好。
新思界
分析人士認為,未來,國產BARC企業有望借助本土供應鏈優勢、政策扶持以及對國內客戶需求的精準把握,持續擴大市場份額,進口品牌份額將相應收縮,但短期內進口主導格局難以徹底扭轉。而國內晶圓廠產能的擴張及釋放,尤其是國內晶圓廠向高制程演進,將為本土BARC行業發展帶來較大的市場空間。
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