二氯硅烷，又稱二氯甲硅烷，化學式為SiH₂Cl₂，是一種無機化合物。電子級二氯硅烷為二氯硅烷代表產品，其外觀呈無色氣體，具備純度高、耐高/低溫等特點，在半導體制造領域需求旺盛。
電子級二氯硅烷制備方法包括氫化法、歧化法、氯化法三種。氫化法指以四氯化硅為原材料，在高溫狀態下經過氫化反應制得成品，該法可用于制備純度在99.9％以上的電子級二氯硅烷；歧化法為電子級二氯硅烷傳統制備方法，該法通常以三氯氫硅為原材料，加入催化劑，經歧化反應制得成品；氯化法存在成品收率低、成品質量差等問題，目前尚未實現規模化應用。
提純為電子級二氯硅烷制備關鍵環節，吸附法以及精餾法為其常用提純方法。吸附法指在高壓狀態下，將二氯硅烷粗品置于填充有承載硅化鎳的固定床中，再加入吸附劑吸附氧氣，最終制得成品；精餾法指先對粗品進行溶液處理，再經過精餾、提純制得成品。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2029年全球及中國電子級二氯硅烷行業研究及十五五規劃分析報告》顯示，電子級二氯硅烷在半導體制造領域需求旺盛，其作為電子特氣，可用于集成電路氮化硅掩蔽膜以及硅外延片制備環節。近年來，隨著國家政策支持以及技術進步，我國集成電路行業發展速度不斷加快。據國家工信部統計數據顯示，2024年我國集成電路產量達到4514億塊，同比增長22.2%。未來隨著下游行業景氣度提升，電子級二氯硅烷市場空間將得到進一步擴展。
我國電子級二氯硅烷主要生產企業包括北方特氣（浙江）科技有限公司、全椒亞格泰電子新材料科技有限公司。北方特氣正在積極推進硅基新材料及第三代半導體材料一體化項目建設，一期項目建成后，其電子級二氯硅烷年產能將達到500噸。全椒亞格泰專注于泛半導體高端關鍵原材料的研發、生產及銷售，其電子級二氯硅烷已在12寸晶圓制備過程中獲得應用。
新思界
行業分析人士表示，電子級二氯硅烷作為一種電子特氣，在半導體領域應用較多。未來隨著我國半導體行業發展速度加快，電子級二氯硅烷市場需求將日益旺盛。隨著技術進步，我國高品質電子級二氯硅烷市場占比有望提升。目前，我國企業正在積極推進電子級二氯硅烷相關產能建設，未來其行業發展前景將持續向好。
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