二氯硅烷，又稱二氯甲硅烷，化學(xué)式為SiH₂Cl₂，是一種無(wú)機(jī)化合物。電子級(jí)二氯硅烷為二氯硅烷代表產(chǎn)品，其外觀呈無(wú)色氣體，具備純度高、耐高/低溫等特點(diǎn)，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域需求旺盛。
電子級(jí)二氯硅烷制備方法包括氫化法、歧化法、氯化法三種。氫化法指以四氯化硅為原材料，在高溫狀態(tài)下經(jīng)過(guò)氫化反應(yīng)制得成品，該法可用于制備純度在99.9％以上的電子級(jí)二氯硅烷；歧化法為電子級(jí)二氯硅烷傳統(tǒng)制備方法，該法通常以三氯氫硅為原材料，加入催化劑，經(jīng)歧化反應(yīng)制得成品；氯化法存在成品收率低、成品質(zhì)量差等問(wèn)題，目前尚未實(shí)現(xiàn)規(guī)模化應(yīng)用。
提純?yōu)殡娮蛹?jí)二氯硅烷制備關(guān)鍵環(huán)節(jié)，吸附法以及精餾法為其常用提純方法。吸附法指在高壓狀態(tài)下，將二氯硅烷粗品置于填充有承載硅化鎳的固定床中，再加入吸附劑吸附氧氣，最終制得成品；精餾法指先對(duì)粗品進(jìn)行溶液處理，再經(jīng)過(guò)精餾、提純制得成品。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025-2029年全球及中國(guó)電子級(jí)二氯硅烷行業(yè)研究及十五五規(guī)劃分析報(bào)告》顯示，電子級(jí)二氯硅烷在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域需求旺盛，其作為電子特氣，可用于集成電路氮化硅掩蔽膜以及硅外延片制備環(huán)節(jié)。近年來(lái)，隨著國(guó)家政策支持以及技術(shù)進(jìn)步，我國(guó)集成電路行業(yè)發(fā)展速度不斷加快。據(jù)國(guó)家工信部統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2024年我國(guó)集成電路產(chǎn)量達(dá)到4514億塊，同比增長(zhǎng)22.2%。未來(lái)隨著下游行業(yè)景氣度提升，電子級(jí)二氯硅烷市場(chǎng)空間將得到進(jìn)一步擴(kuò)展。
我國(guó)電子級(jí)二氯硅烷主要生產(chǎn)企業(yè)包括北方特氣（浙江）科技有限公司、全椒亞格泰電子新材料科技有限公司。北方特氣正在積極推進(jìn)硅基新材料及第三代半導(dǎo)體材料一體化項(xiàng)目建設(shè)，一期項(xiàng)目建成后，其電子級(jí)二氯硅烷年產(chǎn)能將達(dá)到500噸。全椒亞格泰專注于泛半導(dǎo)體高端關(guān)鍵原材料的研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，其電子級(jí)二氯硅烷已在12寸晶圓制備過(guò)程中獲得應(yīng)用。
新思界
行業(yè)分析人士表示，電子級(jí)二氯硅烷作為一種電子特氣，在半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用較多。未來(lái)隨著我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展速度加快，電子級(jí)二氯硅烷市場(chǎng)需求將日益旺盛。隨著技術(shù)進(jìn)步，我國(guó)高品質(zhì)電子級(jí)二氯硅烷市場(chǎng)占比有望提升。目前，我國(guó)企業(yè)正在積極推進(jìn)電子級(jí)二氯硅烷相關(guān)產(chǎn)能建設(shè)，未來(lái)其行業(yè)發(fā)展前景將持續(xù)向好。
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電子級(jí)二氯硅烷在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域需求旺盛 
