五（二甲氨基）鉭，簡稱PDMAT，化學式為C10H30N5Ta，是一種金屬有機化合物。五（二甲氨基）鉭外觀呈橙色晶體，分子結構由鉭原子和五個二甲氨基配體組成，具備熱穩(wěn)定性好、蒸氣壓低等特點，作為前驅體材料，在原子層沉積（ALD）工藝以及化學氣相沉積（CVD）工藝中應用較多。
五氯化鉭與二甲胺合成法為五（二甲氨基）鉭常用制備方法，該法通常以五氯化鉭與二甲胺為主要原材料，加入正丁基鋰，經(jīng)過充分反應、過濾、干燥等流程制得成品。在行業(yè)發(fā)展初期，受技術壁壘高、生產(chǎn)成本高等因素限制，我國五（二甲氨基）鉭高度依賴進口。近年來，隨著本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力以及技術進步，我國五（二甲氨基）鉭產(chǎn)能有所擴張，產(chǎn)量不斷增長。
受益于研究深入，我國五（二甲氨基）鉭關專利數(shù)量不斷增加，主要包括《一種五（二甲氨基）鉭產(chǎn)品及其制備方法》、《一種電子級五（二甲氨基）鉭的制備方法》、《一種高純ALD前驅體五（二甲氨基）鉭的重結晶提純工藝》等。未來隨著研究不斷深入，我國五（二甲氨基）鉭行業(yè)發(fā)展速度將有所加快。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025年中國五（二甲氨基）鉭（PDMAT）市場專項調研及企業(yè)“十五五規(guī)劃”建議報告》顯示，五（二甲氨基）鉭作為前驅體材料，可用于原子層沉積工藝以及化學氣相沉積工藝中，氮化鉭薄膜（TaN）以及氧化鉭薄膜（Ta2O5）為其下游產(chǎn)品。TaN薄膜在集成電路制造過程中應用較多，其作為擴散阻擋層材料，可滿足銅互連工藝要求。近年來，隨著全球半導體產(chǎn)業(yè)逐漸向我國大陸轉移，我國集成電路產(chǎn)量不斷增長。據(jù)國家工信部統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，2025年1-7月，我國集成電路產(chǎn)量達到2946億塊，同比增長10.4%。未來隨著下游行業(yè)發(fā)展速度加快，我國五（二甲氨基）鉭市場空間將進一步擴展。
正帆科技專注于集成電路、泛半導體、生物制藥等產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，為我國五（二甲氨基）鉭代表企業(yè)。目前，正帆科技正在積極推進前驅體產(chǎn)能建設，建成后其五（二甲氨基）鉭年產(chǎn)能將達到5噸。
新思界
行業(yè)分析人士表示，隨著我國集成電路行業(yè)發(fā)展速度加快，五（二甲氨基）鉭市場空間不斷擴展。預計未來一段時間，隨著本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力以及技術進步，我國五（二甲氨基）鉭產(chǎn)能有望擴張。
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