六氟化鎢，化學式為WF6，是一種無機化合物。六氟化鎢外觀呈無色氣體，無特殊氣味，具備化學性質活潑、揮發性高等特點，在半導體制造、光伏發電、顯示面板制造以及科學研究等眾多領域應用廣泛。
純化為六氟化鎢制備關鍵環節，主要包括吸附法、精餾法、鼓泡法、冷凍法等。按照使用吸附劑不同，吸附法可細分為氟化碳纖維吸附法、氧化鋁吸附法、單金屬吸附法以及金屬氟化物吸附法等；精餾法可細分為蒸餾-精餾法、普通精餾法以及吸附-精餾法等；鼓泡法指將高純氦氣通入六氟化鎢液體中，經過鼓泡獲得高純度產品。未來隨著純化技術不斷進步，我國高純度六氟化鎢產量將持續增長。
六氟化鎢作為電子特氣，在眾多領域應用廣泛，主要包括半導體制造、光伏發電、顯示面板制造以及科學研究等。在光伏發電領域，六氟化鎢可用于碲化鎘薄膜太陽能電池制造過程中；在顯示面板制造領域，其可用于顯示面板擴散阻擋層制造以及空洞填充過程中；在科學研究領域，其可用于材料科學研究過程中。
根據新思界產業研究中心發布的《
2026-2030年六氟化鎢（WF6）行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示，半導體制造領域為六氟化鎢最大需求端，其可用于存儲芯片的等離子體蝕刻工藝中。近年來，隨著國家政策支持以及技術進步，我國芯片產量持續增長。據國家工信部統計數據顯示，2025年1-10月，我國芯片產量達到3866億塊，同比增長10.2%。未來隨著下游行業景氣度提升，六氟化鎢市場空間將得到進一步擴展。
全球六氟化鎢主要生產企業包括日本關東電化工業株式會社（Denka）、韓國SK集團、美國空氣化工產品公司（Air Products and Chemicals）、法國液化空氣集團（Air Liquide）、德國林德公司（Linde AG）等。在本土方面，我國六氟化鎢主要生產企業包括南大光電、中船特氣、昊華科技等。中船特氣專注于電子特氣的研發、生產及銷售，占據我國六氟化鎢市場近八成份額。
新思界
行業分析人士表示，六氟化鎢應用范圍較廣，半導體制造領域為其最大需求端。未來隨著全球半導體產業逐漸向我國大陸轉移，我國芯片產能將持續擴張，屆時六氟化鎢市場需求將進一步增長。在市場競爭方面，我國六氟化鎢行業集中度較高，中船特氣占據市場較大份額。
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