準(zhǔn)分子激光器是是一種氣體激光器，通常由增益介質(zhì)、泵浦源、光學(xué)諧振器等組成。準(zhǔn)分子激光器以激發(fā)二聚體（準(zhǔn)分子）作為增益介質(zhì)，如氟化氬（ArF）、氟化氪（KrF）、二氯化氙（XeCl）等，通過脈沖放電泵浦在紫外區(qū)域產(chǎn)生納秒級(jí)脈沖。
準(zhǔn)分子激光器可以發(fā)出準(zhǔn)分子激光，準(zhǔn)分子激光是一種超紫外線光束，同時(shí)也是一種冷光源，具有高單色性、高功率、高穩(wěn)定性等特點(diǎn)。準(zhǔn)分子激光器在半導(dǎo)體光刻、平板顯示制造、醫(yī)療器械、工業(yè)制造、科學(xué)研究等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025-2029年準(zhǔn)分子激光器行業(yè)市場(chǎng)供需現(xiàn)狀及行業(yè)經(jīng)營指標(biāo)深度調(diào)查分析報(bào)告》顯示，在醫(yī)療器械領(lǐng)域，基于準(zhǔn)分子激光的穿透力弱、無熱效應(yīng)等特點(diǎn)，準(zhǔn)分子激光器可用于近視屈光、混合散光等眼科疾病治療中。近年來，隨著眼科疾病患者增加、激光視力矯正技術(shù)發(fā)展，醫(yī)用準(zhǔn)分子激光器在全球的應(yīng)用日益廣泛。
準(zhǔn)分子激光器誕生于上世紀(jì)60年代，經(jīng)過多年發(fā)展積累，商用準(zhǔn)分子激光器系列不斷豐富，生產(chǎn)企業(yè)包括美國Coherent、Cymer、德國MLase AG、日本Gigaphoton、加拿大LightMachinery、俄羅斯Optosystems等國外企業(yè)，以及深圳盛方科技有限公司、中山普宏光電科技有限公司、合肥意克賽激光科技有限公司、北京科益虹源光電技術(shù)有限公司等國內(nèi)企業(yè)。
美國Coherent是全球最大的準(zhǔn)分子激光器生產(chǎn)商之一，但美國“實(shí)體清單”政策限制中國用戶購買其高科技產(chǎn)品，或?qū)⑾拗茰?zhǔn)分子激光退火等技術(shù)向外出口。在此背景下，國產(chǎn)準(zhǔn)分子激光器有望成為半導(dǎo)體制造、工業(yè)加工、醫(yī)療等企業(yè)的首選。
近年來，我國企業(yè)在準(zhǔn)分子激光器領(lǐng)域取得了顯著突破，如盛方科技基于中國科學(xué)院四十年的研發(fā)經(jīng)驗(yàn)和相關(guān)技術(shù)成果，率先推出了一系列具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn)高端中小功率準(zhǔn)分子激光器，并獲得了市場(chǎng)高度認(rèn)可。2025年1月，盛方科技宣布完成數(shù)千萬元人民幣的A輪融資，融資將用于加強(qiáng)大功率準(zhǔn)分子激光器的研發(fā)及生產(chǎn)規(guī)模擴(kuò)張。
新思界
行業(yè)分析人士表示，隨著制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)，準(zhǔn)分子激光器在半導(dǎo)體光刻、工業(yè)加工、平板顯示制造、醫(yī)療等應(yīng)用需求正快速釋放，市場(chǎng)發(fā)展空間廣闊。相比于同等質(zhì)量的進(jìn)口產(chǎn)品，國產(chǎn)準(zhǔn)分子激光器具有性價(jià)比更高、售后服務(wù)更快捷等優(yōu)勢(shì)，同時(shí)疊加國產(chǎn)替代趨勢(shì)，近年來，國產(chǎn)準(zhǔn)分子激光器越來越受市場(chǎng)青睞。
