碳化硅功率半導體測試設備是指用于測試碳化硅（SiC）功率半導體器件性能的設備，其能夠評估碳化硅功率半導體器件在各種條件下的電氣特性、可靠性和穩定性，確保實際應用穩定性。
碳化硅是第三代半導體材料，具備高能帶寬度、低導通電阻、耐高頻、耐高溫、耐高壓等特性，在電子電氣、耐火材料、磨料磨具等領域應用日益廣泛。基于碳化硅的功率半導體器件具有比硅基器件更高的電場強度、電子飽和速度，在可再生能源、智能電網、新能源汽車、移動通信、醫療影像等領域應用潛力廣闊。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2029年碳化硅功率半導體測試設備行業市場供需現狀及行業經營指標深度調查分析報告》顯示，近年來，碳化硅功率半導體市場發展蓬勃，2024年全球市場規模約42億元，預計2028年，這一市場規模將突破85億美元。碳化硅功率半導體市場發展，帶動碳化硅功率半導體測試設備需求快速釋放。
碳化硅功率半導體測試設備需具備極高的精度、響應速度和工作穩定性，由于開發難度大，全球碳化硅功率半導體測試設備主要由國外企業供應，包括美國泰瑞達Teradyne、科磊（KLA）、日本愛德萬（ADVANTEST）、日立高新、Lasertec公司等。
國外企業在碳化硅功率半導體測試設備市場上具有明顯的技術、先發優勢，我國市場起步較晚，碳化硅功率半導體測試設備進口依賴度高。但作為全球碳化硅器件生產大國，近年來我國碳化硅功率半導體測試需求旺盛，倒逼碳化硅功率半導體測試設備國產替代進程加快。
長川科技、忱芯科技、閱芯科技、華峰測控、聯動科技、金海通、華科智源、廣立微等企業是國內半導體測試設備重要供應商，將成為推動碳化硅功率半導體測試設備國產化進程主力軍。
如忱芯科技的碳化硅功率半導體測試系統產品線涵蓋了SiC基功率半導體器件的測試環節，可滿足實驗室與生產線多種場景需求，近期忱芯科技完成了由國投創業領投的超2億元B輪及B+輪融資，融資將用于公司前瞻產品研發、新產品量產及全球化業務布局。
新思界
行業分析人士表示，碳化硅功率半導體測試設備在碳化硅功率半導體生產制造過程中具有高應用價值，隨著碳化硅功率半導體市場蓬勃發展，其市場需求將持續釋放。碳化硅功率半導體測試設備開發存在諸多技術難點，國外企業占據全球市場主導，但在中美科技戰、國產替代背景下，我國企業核心競爭力也在不斷提升。
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