半球型電子能量分析器又稱半球能量分析器，簡稱HDA，是光電子能譜儀最核心的部件之一，主要用于測量樣品表面電子能量分布。光電子能譜儀用電子能量分析器分為筒鏡式電子能量分析器（CMA）、半球型電子能量分析器兩種。
半球能量分析器分辨率高，其能量分辨率來自于不同能量的電子在兩個半球之間的運(yùn)動軌跡的不同。電源板卡是實(shí)現(xiàn)半球能量分析器高能量分辨率的核心部件，其通過提供高精度、低紋波的穩(wěn)定電壓，來精確控制透鏡和半球電極間的電場分布，確保電子軌跡的聚焦與能量篩選能力。
半球能量分析器是光電子能譜儀的核心部件。光電子能譜儀根據(jù)激發(fā)源不同，分為雙光子光電子能譜儀、紫外光電子能譜儀、X射線光電子能譜儀（XPS）三種，其中XPS為市場主流產(chǎn)品，目前全球XPS市場規(guī)模在60億元左右。近年來，我國越發(fā)注重基礎(chǔ)研究和新型研發(fā)機(jī)構(gòu)建設(shè)，XPS采購需求隨之釋放，半球能量分析器作為其核心部件，市場空間也不斷擴(kuò)大。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的
《2025-2029年中國半球能量分析器（HDA）行業(yè)全面市場調(diào)研及投資分析報(bào)告》顯示，全球首臺半球能量分析器于1950年誕生，由于技術(shù)壁壘高，目前半球能量分析器供應(yīng)商仍較少，其中德國Scienta Omicron公司是全球領(lǐng)先供應(yīng)商，其DA30型半球能量分析器標(biāo)稱能量分辨率達(dá)1.8meV。
我國研究起步較晚、研究基礎(chǔ)較薄弱，長期以來，半球能量分析器一直依賴進(jìn)口，進(jìn)而限制了光電子能譜儀國產(chǎn)化進(jìn)程及科研、新興等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。進(jìn)口半球能量分析器售價(jià)高，易被卡脖子，在復(fù)雜多變的國際形勢下，半球能量分析器國產(chǎn)替代需求旺盛。
蘇州華萃儀器有限公司（蘇州華萃）是半球能量分析器國產(chǎn)化的主要推動者，其半球能量分析器型號包括R150X型、R200D型等，其中R200D型半球能量分析器能量分辨率達(dá)到了DA30水平。此外蘇州華萃還實(shí)現(xiàn)了微聚焦/雙陽極X射線源、ARPES（角分辨光電子能譜儀）整機(jī)系統(tǒng)的全面國產(chǎn)化生產(chǎn)。
新思界
行業(yè)分析人士表示，近年來，我國科研經(jīng)費(fèi)投入逐年增長，根據(jù)國家統(tǒng)計(jì)局?jǐn)?shù)據(jù)顯示，2024年研經(jīng)費(fèi)投入超3.6萬億元，同比增長8.3%。光電子能譜儀是新材料研發(fā)中不可或缺的表征儀器，而半球能量分析器作為光電子能譜儀的核心部件，在此背景下，市場空間不斷擴(kuò)大。
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