等離子體發生器，指能夠將氣體轉化為等離子體狀態的裝置。等離子體發生器具備參數控制精度高、能量轉換效率高、維護成本低、綠色環保等優勢，在環境保護、能源電力、科學研究以及半導體制造等眾多領域有所應用。
近年來，隨著研究不斷深入，我國等離子體發生器相關專利數量有所增加，主要包括《一種低溫等離子體發生器》、《一種級聯式等離子體發生器》、《一種調頻匹配射頻等離子體發生器》、《一種非熱電弧等離子體發生器》、《一種基于變壓器耦合的射頻等離子體發生器》、《一種基于DBD技術的高效等離子體發生器》等。在此背景下，我國等離子體發生器行業發展速度有望加快。
等離子體發生器用途廣泛，包括環境保護、能源電力、科學研究以及半導體制造等。在環境保護領域，等離子體發生器可利用高能粒子分解污染物，適用于廢水凈化、工業廢氣處理以及固廢處理等場景；在能源電力領域，其可用于發電廠點火系統中；在科學研究領域，其可用于物理及化學實驗場景；在半導體制造領域，其可用于半導體器件表面處理環節。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2030年等離子體發生器行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，在應用需求拉動下，等離子體發生器市場空間不斷擴展。2024年全球等離子體發生器市場規模達到近50億美元，同比增長近10%。未來隨著技術進步以及應用范圍不斷擴展，等離子體發生器行業發展態勢將持續向好。預計到2030年，全球等離子體發生器市場規模將超過80億美元。
全球等離子體發生器市場主要參與者包括德國霍廷格電子公司（TRUMPF Huettinger）、日本基恩士公司（KEYENCE）等。在本土方面，我國等離子體發生器主要生產企業包括龍源技術、京儀裝備、西安賽隆、西安航科等。京儀裝備推出的等離子體發生器已在半導體制造領域獲得應用。
新思界
行業分析人士表示，等離子體發生器作為一種高性能能量轉換裝置，在眾多領域擁有廣闊應用前景。未來隨著下游行業發展速度加快，等離子體發生器市場空間將得到進一步擴展。我國等離子體發生器生產企業眾多，但技術水平及產品質量與海外發達國家相比仍存在一定差距。未來隨著本土企業持續發力以及技術進步，我國高品質等離子體發生器市場占比有望提升。
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