半導(dǎo)體制造的四大關(guān)鍵裝備分別為刻蝕機(jī)、光刻機(jī)、離子注入機(jī)以及鍍膜設(shè)備。離子注入機(jī)，指能夠?qū)щ婋s質(zhì)離子加速到預(yù)定能量并注入到芯片表層的設(shè)備。離子注入機(jī)具備低溫穩(wěn)定性好、可實(shí)現(xiàn)高精度控制、靈活性高、成品質(zhì)量好等優(yōu)勢，在集成電路制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
按照離子束電流和束流能量范圍不同，離子注入機(jī)可分為高能離子注入機(jī)、高能大束流離子注入機(jī)、低能大束流注入機(jī)以及中束流注入機(jī)等。低能大束流離子注入機(jī)基于低能大束流技術(shù)制得，具備生產(chǎn)效率高、工作精度高等優(yōu)勢，應(yīng)用范圍較廣，為離子注入機(jī)市場主流產(chǎn)品。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025-2030年離子注入機(jī)行業(yè)市場深度調(diào)研及投資前景預(yù)測分析報(bào)告》顯示，離子注入機(jī)主要應(yīng)用于集成電路制造環(huán)節(jié)。近年來，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐漸向我國大陸轉(zhuǎn)移，我國集成電路產(chǎn)量不斷增長。據(jù)國家工信部統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2025年1-7月，我國集成電路產(chǎn)量達(dá)到2946億塊，同比增長10.4%。隨著下游行業(yè)景氣度提升，我國離子注入機(jī)行業(yè)發(fā)展態(tài)勢將持續(xù)向好。
經(jīng)過多年發(fā)展，我國離子注入機(jī)技術(shù)不斷進(jìn)步，市場國產(chǎn)化率有所提升，但高端產(chǎn)品仍依賴進(jìn)口。據(jù)中國海關(guān)總署統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2024年我國離子注入機(jī)（海關(guān)編碼：84862050）進(jìn)口量達(dá)到553臺(tái)，出口量達(dá)到277臺(tái)。美國、日本和韓國為我國離子注入機(jī)主要進(jìn)口國。
全球離子注入機(jī)主要生產(chǎn)企業(yè)包括美國亞舍立公司（Axcelis Technologies）、美國應(yīng)用材料公司（Applied Materials）、日本日新離子機(jī)械株式會(huì)社等。美國應(yīng)用材料為全球離子注入機(jī)代表企業(yè)，市場占比達(dá)到近七成。
在本土方面，我國離子注入機(jī)市場主要參與者包括江蘇晉譽(yù)達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司、華海清科股份有限公司、北京中科信電子裝備有限公司、青島思銳智能科技股份有限公司以及上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司等。2025年7月，華海清科自主研發(fā)的首臺(tái)12英寸低溫離子注入機(jī)iPUMA-LT順利出貨。
新思界
行業(yè)分析人士表示，受益于我國集成電路產(chǎn)量不斷增長，離子注入機(jī)作為其前道工藝設(shè)備，市場空間不斷擴(kuò)展。與海外發(fā)達(dá)國家相比，我國離子注入機(jī)行業(yè)起步較晚，具備高端產(chǎn)品生產(chǎn)實(shí)力的企業(yè)數(shù)量較少。未來本土企業(yè)亟需加大研發(fā)投入力度，以提升我國國產(chǎn)離子注入機(jī)市場占比。
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離子注入機(jī)主要應(yīng)用于集成電路制造過程中 
