快速熱處理設備（RTP），指在極短時間內能將基板材料加熱至高溫狀態，并進行退火、氧化、氮化、合金化等熱處理工藝的設備。快速熱處理設備可依靠激光或高功率燈管實現加熱，具備升降溫速率極快、溫度均勻性好、加工效率高等優勢，在半導體制造領域應用較多。
快速熱處理設備種類極為豐富，主要包括快速熱退火設備（RTA）、快速熱氮化設備（RTN）、快速熱氧化設備（RTO）等。快速熱退火設備在達到目標溫度時能夠實現快速退火，在半導體離子注入工藝中應用較多；快速熱氮化設備可用于硅片表面氮化工藝中，能夠提升銅互連結構的阻擋擴散性能；快速熱氧化設備可用于硅片表面氧化工藝中。未來隨著細分產品應用需求增長，快速熱處理設備行業景氣度有望提升。
快速熱處理設備主要由高純石英件、紅外高溫計、準分子激光器、紅外鹵素燈等組件構成。高純石英件包括托盤、石英舟以及爐管，主要用于承載晶圓；紅外高溫計主要用于監測溫度；準分子激光器能夠提供極高能量，進而實現退火等熱處理工藝。
根據新思界產業研究中心發布的《
2026-2031年快速熱處理設備（RTP）行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，快速熱處理設備主要應用于半導體制造領域，包括離子注入、柵介質形成、先進封裝等。近年來，全球半導體產業有向我國大陸轉移的趨勢，帶動芯片產量不斷增長。據國家工信部統計數據顯示，2025年我國集成電路產量達到4843億塊，同比增長10.9%。經過多年發展，快速熱處理設備已成為半導體熱處理設備市場主流產品，占比達到近五成。未來隨著應用需求增長，我國快速熱處理設備市場空間還將進一步擴展。
我國快速熱處理設備行業集中度較高，頭部優勢企業占據市場較大份額。屹唐股份專注于集成電路制造過程中所需晶圓加工設備的研發、生產及銷售，主營產品包括Helios系列快速熱處理設備、Millios閃光毫秒級退火設備等，為我國快速熱處理設備代表企業。據屹唐股份企業年報顯示，2024年公司快速熱處理設備銷量達到71臺。
新思界
行業分析人士表示，快速熱處理設備作為半導體熱處理設備，應用需求旺盛。未來伴隨我國半導體產業發展速度加快，快速熱處理設備行業發展空間將得到進一步擴展。在市場競爭方面，屹唐股份具備快速熱處理設備自主研發及量產實力，占據我國市場較大份額。
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