鋁鈧合金靶材在電子、通信領(lǐng)域作用重要 我國(guó)自給能力正在增強(qiáng)

　　鋁鈧合金以金屬鋁（Al）、金屬鈧（Sc）為主要合金元素制造而成，兼具二者的優(yōu)點(diǎn)，具有輕質(zhì)、導(dǎo)電、導(dǎo)熱、耐高溫、耐腐蝕、高硬度等特點(diǎn)。鋁鈧合金靶材，利用高純鋁鈧合金的優(yōu)良導(dǎo)熱導(dǎo)電性、機(jī)械性能、耐腐蝕性能，采用濺射鍍膜或者蒸發(fā)鍍膜的方式，可以在基材表面沉積形成薄膜。

 

　　根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2025-2030年中國(guó)鋁鈧合金靶材行業(yè)市場(chǎng)深度調(diào)研及發(fā)展前景預(yù)測(cè)報(bào)告》顯示，鋁鈧合金靶材主要應(yīng)用在電子、通信產(chǎn)業(yè)中，在半導(dǎo)體領(lǐng)域用于集成電路、存儲(chǔ)器等制造方面。射頻濾波芯片，是選擇性地通過特定頻率信號(hào)，同時(shí)抑制其他頻率干擾的芯片，在5G移動(dòng)通信技術(shù)領(lǐng)域，5G射頻濾波芯片在保證信號(hào)質(zhì)量、維護(hù)通信系統(tǒng)組件穩(wěn)定性方面發(fā)揮重要作用。在5G射頻濾波芯片制造過程中，鋁鈧合金靶材的功能是制備核心材料氮化鋁鈧壓電薄膜。

 

　　在4G移動(dòng)通信時(shí)代，濾波器芯片對(duì)薄膜材料的性能要求相對(duì)較低，5G移動(dòng)通信具有高頻特點(diǎn)，傳統(tǒng)薄膜材料無法滿足高頻段數(shù)據(jù)傳輸過程中的信號(hào)過濾需求，氮化鋁鈧薄膜具有縱波聲速快、熱穩(wěn)定性高的優(yōu)點(diǎn)，成為重要解決方案，鋁鈧合金靶材在氮?dú)鈿夥障拢�通過磁控濺射法在襯底上可以形成氮化鋁鈧薄膜，因此其開發(fā)受到關(guān)注。

 

　　除射頻濾波芯片外，鋁鈧合金靶材還可以應(yīng)用在MEMS傳感器、聲學(xué)傳感器等制造領(lǐng)域。與普通鋁鈧合金相比，鋁鈧合金靶材的純度要求高、雜質(zhì)含量要求低，且金屬鈧在空氣中易氧化，在表面形成氧化膜，鋁鈧合金脆性較大，成型難度大，因此鋁鈧合金靶材制備難度高，特別是大尺寸鋁鈧合金靶材研制技術(shù)壁壘高。

 

　　我國(guó)鋁鈧合金靶材研究起步較晚，現(xiàn)階段已經(jīng)取得顯著進(jìn)展。有研億金新材料有限公司與有研稀土新材料股份有限公司、中國(guó)電科26所合作，突破相關(guān)技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn)不同鈧含量鋁鈧系列合金靶材開發(fā)，可以應(yīng)用在高端濾波器件制造中。

 

　　湖南高創(chuàng)稀土新材料有限責(zé)任公司攻克13英寸鋁鈧合金靶材制備技術(shù)，技術(shù)指標(biāo)與國(guó)外一致，并具有量產(chǎn)能力，公司投資建設(shè)的瀏陽項(xiàng)目一期生產(chǎn)線中，包括3噸/年的鋁鈧合金靶材產(chǎn)能。

 

　　新思界行業(yè)分析人士表示，我國(guó)其他鋁鈧合金靶材相關(guān)研究與布局企業(yè)還有先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司、寧波江豐電子材料股份有限公司、洛陽豐聯(lián)科綁定技術(shù)有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司等。

 

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