鋁鈧合金以金屬鋁(Al)、金屬鈧(Sc)為主要合金元素制造而成,兼具二者的優點,具有輕質、導電、導熱、耐高溫、耐腐蝕、高硬度等特點。鋁鈧合金靶材,利用高純鋁鈧合金的優良導熱導電性、機械性能、耐腐蝕性能,采用濺射鍍膜或者蒸發鍍膜的方式,可以在基材表面沉積形成薄膜。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2030年中國鋁鈧合金靶材行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示,鋁鈧合金靶材主要應用在電子、通信產業中,在半導體領域用于集成電路、存儲器等制造方面。射頻濾波芯片,是選擇性地通過特定頻率信號,同時抑制其他頻率干擾的芯片,在5G移動通信技術領域,5G射頻濾波芯片在保證信號質量、維護通信系統組件穩定性方面發揮重要作用。在5G射頻濾波芯片制造過程中,鋁鈧合金靶材的功能是制備核心材料氮化鋁鈧壓電薄膜。
在4G移動通信時代,濾波器芯片對薄膜材料的性能要求相對較低,5G移動通信具有高頻特點,傳統薄膜材料無法滿足高頻段數據傳輸過程中的信號過濾需求,氮化鋁鈧薄膜具有縱波聲速快、熱穩定性高的優點,成為重要解決方案,鋁鈧合金靶材在氮氣氣氛下,通過磁控濺射法在襯底上可以形成氮化鋁鈧薄膜,因此其開發受到關注。
除射頻濾波芯片外,鋁鈧合金靶材還可以應用在MEMS傳感器、聲學傳感器等制造領域。與普通鋁鈧合金相比,鋁鈧合金靶材的純度要求高、雜質含量要求低,且金屬鈧在空氣中易氧化,在表面形成氧化膜,鋁鈧合金脆性較大,成型難度大,因此鋁鈧合金靶材制備難度高,特別是大尺寸鋁鈧合金靶材研制技術壁壘高。
我國鋁鈧合金靶材研究起步較晚,現階段已經取得顯著進展。有研億金新材料有限公司與有研稀土新材料股份有限公司、中國電科26所合作,突破相關技術瓶頸,實現不同鈧含量鋁鈧系列合金靶材開發,可以應用在高端濾波器件制造中。
湖南高創稀土新材料有限責任公司攻克13英寸鋁鈧合金靶材制備技術,技術指標與國外一致,并具有量產能力,公司投資建設的瀏陽項目一期生產線中,包括3噸/年的鋁鈧合金靶材產能。
新思界
行業分析人士表示,我國其他鋁鈧合金靶材相關研究與布局企業還有先導薄膜材料(廣東)有限公司、寧波江豐電子材料股份有限公司、洛陽豐聯科綁定技術有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、福建阿石創新材料股份有限公司等。
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