四（二甲氨基）鈦又稱四（二甲氨）鈦，簡稱TDMAT，分子式C8H24N4Ti，是一種鈦的有機化合物，外觀為澄清、黃色液體，遇水劇烈反應，在高溫下分解，溶于醇類、苯、四氯化碳等有機溶劑。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2030年中國四（二甲氨基）鈦（TDMAT）行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示，四（二甲氨基）鈦常用作化學氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）工藝中的前驅體材料，能夠沉積出TiN（氮化鈦）、TiO₂（氧化鈦）等薄膜。其中氮化鈦薄膜具有高導電性、耐腐蝕性，可用用作擴散阻擋層、MOSFET（金屬氧化物半導體場效應晶體管）柵極材料、金屬間隙填充材料等。
四（二甲氨基）鈦屬于High-k前驅體材料。High-k材料即高介電常數材料，其介電常數顯著高于傳統二氧化硅，近年來，隨著芯片制程進入納米級，High-k前驅體應用需求不斷釋放，目前High-k前驅體已成為半導體前驅體主流。
High-k前驅體市場集中度較高，全球主要供應商包括德國默克Merck、法國Air Liquide、SK Materials、日本Adeka化學、雅克科技等。我國前驅體國產化率較低，高端前驅體主要依賴進口，這已成為制約我國集成電路行業的重要“卡脖子”問題。
四（二甲氨基）鈦作為液體High-k前驅體材料，亦存在較大的國產替代需求。近年來，我國取得了“一種四（二甲氨基）鈦的新型制備方法”、“一種四（二甲氨基）鈦的精制方法與流程”等專利，為四（二甲氨基）鈦國產化提供了技術支撐。
目前我國四（二甲氨基）鈦產能布局企業包括江蘇南大光電材料股份有限公司（南大光電）、浙江博瑞電子科技有限公司、銅陵正帆電子材料有限公司、福建純銘新材料科技有限公司等。南大光電較早實現高純四（二甲氨基）鈦生產供應，202年上半年，南大光電實現營業收入12.29億元，同比增長9.48%。
《電子級四（二甲氨基）鈦》（計劃號20231182-T-469）項目下達日期2023年12月1日，項目周期18個月，由TC203（全國半導體設備和材料標準化技術委員會）歸口，實施日期擬于發布后6個月正式實施。
新思界
行業分析人士表示，作為High-k前驅體，四（二甲氨基）鈦在半導體化學氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）等工藝中發揮著重要作用，隨著半導體工藝節點不斷縮小，四（二甲氨基）鈦市場需求將持續攀升，行業發展前景廣闊。目前我國已實現高純四（二甲氨基）鈦生產供應，國產化率在不斷提升。
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