四(二甲氨基)鈦又稱四(二甲氨)鈦,簡稱TDMAT,分子式C8H24N4Ti,是一種鈦的有機化合物,外觀為澄清、黃色液體,遇水劇烈反應,在高溫下分解,溶于醇類、苯、四氯化碳等有機溶劑。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2030年中國四(二甲氨基)鈦(TDMAT)行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示,四(二甲氨基)鈦常用作化學氣相沉積(CVD)、原子層沉積(ALD)工藝中的前驅體材料,能夠沉積出TiN(氮化鈦)、TiO₂(氧化鈦)等薄膜。其中氮化鈦薄膜具有高導電性、耐腐蝕性,可用用作擴散阻擋層、MOSFET(金屬氧化物半導體場效應晶體管)柵極材料、金屬間隙填充材料等。
四(二甲氨基)鈦屬于High-k前驅體材料。High-k材料即高介電常數材料,其介電常數顯著高于傳統二氧化硅,近年來,隨著芯片制程進入納米級,High-k前驅體應用需求不斷釋放,目前High-k前驅體已成為半導體前驅體主流。
High-k前驅體市場集中度較高,全球主要供應商包括德國默克Merck、法國Air Liquide、SK Materials、日本Adeka化學、雅克科技等。我國前驅體國產化率較低,高端前驅體主要依賴進口,這已成為制約我國集成電路行業的重要“卡脖子”問題。
四(二甲氨基)鈦作為液體High-k前驅體材料,亦存在較大的國產替代需求。近年來,我國取得了“一種四(二甲氨基)鈦的新型制備方法”、“一種四(二甲氨基)鈦的精制方法與流程”等專利,為四(二甲氨基)鈦國產化提供了技術支撐。
目前我國四(二甲氨基)鈦產能布局企業包括江蘇南大光電材料股份有限公司(南大光電)、浙江博瑞電子科技有限公司、銅陵正帆電子材料有限公司、福建純銘新材料科技有限公司等。南大光電較早實現高純四(二甲氨基)鈦生產供應,202年上半年,南大光電實現營業收入12.29億元,同比增長9.48%。
《電子級四(二甲氨基)鈦》(計劃號20231182-T-469)項目下達日期2023年12月1日,項目周期18個月,由TC203(全國半導體設備和材料標準化技術委員會)歸口,實施日期擬于發布后6個月正式實施。
新思界
行業分析人士表示,作為High-k前驅體,四(二甲氨基)鈦在半導體化學氣相沉積(CVD)、原子層沉積(ALD)等工藝中發揮著重要作用,隨著半導體工藝節點不斷縮小,四(二甲氨基)鈦市場需求將持續攀升,行業發展前景廣闊。目前我國已實現高純四(二甲氨基)鈦生產供應,國產化率在不斷提升。
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