三(二甲胺基)環(huán)戊二烯基鉿，別名三(二甲胺)環(huán)戊二烯基鉿、環(huán)戊二烯基三(二甲胺基)鉿，英文簡稱CpHf，Cas號941596-80-1，分子式C11H18HfN3，分子量370.78，外觀為無色至淺黃色透明液體狀，相對密度1.56g/cm3，可溶于四氯化碳、烴類等有機溶劑，對空氣、水汽敏感。
二氧化鉿薄膜具有高介電常數(shù)特征，可以替代傳統(tǒng)的二氧化硅（SiO2）薄膜應(yīng)用在場效應(yīng)晶體管柵極介電層制備領(lǐng)域。在芯片制程工藝不斷縮小背景下，二氧化鉿薄膜可以避免晶體管柵極介電層減薄而導(dǎo)致的其與硅襯底之間界面勢壘出現(xiàn)的電子直接隧穿問題。三(二甲胺基)環(huán)戊二烯基鉿是新型關(guān)鍵晶體管柵極介電層材料之一，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中發(fā)展空間大。
我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，芯片自主設(shè)計、生產(chǎn)能力不斷提升，拉動市場對三(二甲胺基)環(huán)戊二烯基鉿需求增長，因此我國三(二甲胺基)環(huán)戊二烯基鉿相關(guān)布局企業(yè)不斷增多。從制備工藝方面來看，我國企業(yè)申請的專利有：芯越芯（南京）電子科技有限公司的“三(二甲胺)環(huán)戊二烯鉿生產(chǎn)方法”，江蘇南大光電材料股份有限公司的“三(二甲胺基)環(huán)戊二烯基鉿及其制備工藝”及其控股子公司南大光電半導(dǎo)體材料有限公司的“一種三（二甲胺基）環(huán)戊二烯基鉿的新型合成方法”等。
從提供商來看，我國三(二甲胺基)環(huán)戊二烯基鉿供應(yīng)機構(gòu)與企業(yè)主要有南京大學(xué)材料MO源研究開發(fā)中心、合肥安德科銘半導(dǎo)體科技有限公司等。合肥安德科銘半導(dǎo)體科技有限公司控股子公司銅陵安德科銘電子材料科技有限公司于2025年9月5日獲得安徽省應(yīng)急管理廳發(fā)放的危險化學(xué)品安全生產(chǎn)許可證，許可內(nèi)容中包括5噸/年的三(二甲胺基)環(huán)戊二烯基鉿生產(chǎn)能力。
新思界
行業(yè)分析人士表示，我國三(二甲胺基)環(huán)戊二烯基鉿產(chǎn)能建設(shè)不斷增多。2025年5月，江西華特電子化學(xué)品有限公司華特電子永修半導(dǎo)體新材料中試基地項目環(huán)境影響報告書擬批準(zhǔn)公示，一期項目中包括三(二甲胺基)環(huán)戊二烯基鉿生產(chǎn)線；2025年8月，太和氣體（荊州）有限公司高端電子化學(xué)品材料項目環(huán)境影響報告書受理公示，建設(shè)內(nèi)容中包括30噸/年的環(huán)戊二烯基三(二甲胺基)鉿產(chǎn)能；2025年9月，浙江先導(dǎo)微電子科技有限公司集成電路關(guān)鍵材料基地產(chǎn)業(yè)化擴建項目環(huán)境影響評價公示，首批次建設(shè)內(nèi)容中包括30噸/年的三(二甲胺基)環(huán)戊二烯基鉿產(chǎn)能。
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