三(二甲胺基)環戊二烯基鉿，別名三(二甲胺)環戊二烯基鉿、環戊二烯基三(二甲胺基)鉿，英文簡稱CpHf，Cas號941596-80-1，分子式C11H18HfN3，分子量370.78，外觀為無色至淺黃色透明液體狀，相對密度1.56g/cm3，可溶于四氯化碳、烴類等有機溶劑，對空氣、水汽敏感。
二氧化鉿薄膜具有高介電常數特征，可以替代傳統的二氧化硅（SiO2）薄膜應用在場效應晶體管柵極介電層制備領域。在芯片制程工藝不斷縮小背景下，二氧化鉿薄膜可以避免晶體管柵極介電層減薄而導致的其與硅襯底之間界面勢壘出現的電子直接隧穿問題。三(二甲胺基)環戊二烯基鉿是新型關鍵晶體管柵極介電層材料之一，在半導體產業中發展空間大。
我國半導體產業發展迅速，芯片自主設計、生產能力不斷提升，拉動市場對三(二甲胺基)環戊二烯基鉿需求增長，因此我國三(二甲胺基)環戊二烯基鉿相關布局企業不斷增多。從制備工藝方面來看，我國企業申請的專利有：芯越芯（南京）電子科技有限公司的“三(二甲胺)環戊二烯鉿生產方法”，江蘇南大光電材料股份有限公司的“三(二甲胺基)環戊二烯基鉿及其制備工藝”及其控股子公司南大光電半導體材料有限公司的“一種三（二甲胺基）環戊二烯基鉿的新型合成方法”等。
從提供商來看，我國三(二甲胺基)環戊二烯基鉿供應機構與企業主要有南京大學材料MO源研究開發中心、合肥安德科銘半導體科技有限公司等。合肥安德科銘半導體科技有限公司控股子公司銅陵安德科銘電子材料科技有限公司于2025年9月5日獲得安徽省應急管理廳發放的危險化學品安全生產許可證，許可內容中包括5噸/年的三(二甲胺基)環戊二烯基鉿生產能力。
新思界
行業分析人士表示，我國三(二甲胺基)環戊二烯基鉿產能建設不斷增多。2025年5月，江西華特電子化學品有限公司華特電子永修半導體新材料中試基地項目環境影響報告書擬批準公示，一期項目中包括三(二甲胺基)環戊二烯基鉿生產線；2025年8月，太和氣體（荊州）有限公司高端電子化學品材料項目環境影響報告書受理公示，建設內容中包括30噸/年的環戊二烯基三(二甲胺基)鉿產能；2025年9月，浙江先導微電子科技有限公司集成電路關鍵材料基地產業化擴建項目環境影響評價公示，首批次建設內容中包括30噸/年的三(二甲胺基)環戊二烯基鉿產能。
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