薄膜沉積設備是薄膜沉積工藝過程中的專用設備，其具有價值量高、需求占比大、研制難度大等特點。國內薄膜沉積設備生產企業主要包括北方華創、沈陽拓荊、捷佳偉創、無錫微導等企業，其中北方華創、沈陽拓荊兩家企業技術較為先進，目前正在研發7/5nm制程技術。
薄膜沉積是半導體加工、制造中重要的一項技術，按照原理不同，薄膜沉積主要分為物理式真空鍍膜（PVD）、化學式真空鍍膜（CVD）、原子層沉積（ALD）等三種，其中原子層沉積為目前最為先進的薄膜沉積技術。
近年來，隨著半導體產業的發展，半導體設備市場需求不斷釋放，發展到2020年，全球半導體設備市場規模達到680億美元左右。半導體設備產業屬于技術密集型、資本密集型和人才密集型產業，受技術、資金以及研發水平等因素限制，目前半導體設備市場呈現出寡頭壟斷格局，其中日美企業占據市場主要份額。薄膜沉積設備作為半導體核心設備之一，全球市場也由日美企業占據主導。
根據新思界產業研究中心發布的《
2021-2025年中國薄膜沉積設備行業市場行情監測及未來發展前景研究報告》顯示，現階段，全球薄膜沉積設備市場規模在150億美元左右。近年來，在科技技術進步、政府扶持力度加大的驅動下，我國薄膜沉積設備行業取得較大成就，但由于國內企業在技術方面仍舊落后于國際企業，目前我國薄膜沉積設備國產化率極低，在3%左右。
在全球薄膜沉積設備市場上，日本、美國企業合計市場占比在75%左右，其中CVD市場主要供應商為美國應用材料、東京電子、泛林半導體等；PVD市場供應商包括應用材料、Evatec、日本愛發科等；ALD市場供應商包括東京電子、半導體材料等。目前日美企業的薄膜沉積設備已到達5nm制程水平，處于全球領先地位。
近年來，隨著全球產業向東轉移，我國集成電路、液晶顯示、光伏、機床等產業發展迅速，進而帶動薄膜沉積設備需求持續攀升，未來我國或將成為全球薄膜沉積設備市場中增速最快的國家之一，薄膜沉積設備國產替代空間廣闊。
新思界
行業分析人士表示，受益于半導體、液晶顯示等產業的快速發展，薄膜沉積設備市場需求不斷釋放，但受技術限制，目前我國薄膜沉積設備國產率極低，市場需求主要依賴進口，不利于行業長遠可持續發展。在未來市場發展中，我國薄膜沉積設備仍需不斷提升研發創新能力，早日實現薄膜沉積設備國產替代。
