超精密加工（亞微米級加工技術）是伴隨核能、大規模集成電路、激光、航天等尖端技術需求而發展起來精度極高的加工技術。超精密加工以不改變工件材料物理特性為前提，通過一定方式獲得極限的形狀精度、尺寸精度、表面完整性等。超精密加工是衡量國家工業水平的重要標志之一，也是制造業未來發展重要趨勢。
隨著市場發展及技術進步，制造業逐漸向微觀制造方向升級，超精密加工尺寸也進入納米尺度，即納米級加工技術，目前納米級加工技術已成為超精密加工領域前沿課題，其受到了全球多個國家高度關注。全球超精密加工技術起步于上世紀五十年代，早期參與國家主要有美國、德國、英國、日本等發達國家，發展到目前，以上國家在超精密加工技術上仍處于國際領先水平，且設備商品化程度、總體成套水平也較高。
根據新思界產業研究中心發布的《
2022-2026年中國超精密加工行業市場行情監測及未來發展前景研究報告》顯示，我國超精密加工行業起步較晚，早期受技術限制，超精密加工設備完全依賴進口，后得益于國內科技技術、研發水平提升，超精密加工行業取得良好成果，高端設備國產化率持續攀升。但總體來看，我國超精密加工行業在加工精度、加工效率、技術配套性方面仍與國際先進水平存在差距，未來仍需大量的研究和資金投入。
在國際市場上，超精密加工相關企業有普瑞泰克公司、海普瑞森、日本東芝、克蘭菲爾德、三菱重工等，在國內市場上，超精密加工相關企業及研究機構有北京機床研究所、國防科技大學、哈爾濱工業大學、航空303、寧波精達、四方達等。
超精密加工涉及到電子束加工、離子束加工、電子束加工、微細電火花加工、超聲電解加工、精細電解加工等。作為現代高科技產業和科學技術的重要支撐，超精密加工技術現已在航天航空、集成電路、機械裝備、船舶、軍工、軌道交通、光學器件等領域得到廣泛應用。
新思界
行業分析人士表示，超精密加工是制造業未來發展重要趨勢，目前我國超精密加工技術與美日國家相比仍存在一定差距，尤其體現在加工效率及自動化程度方面。在發展趨勢上，隨著技術進步，市場對超精密加工的精度、效率、質量等要求將越來越高，行業將不斷向高精度、高效率、微型化、智能化、一體化、綠色化等方向發展。
