真空泵是指利用機械、物理、化學方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。根據(jù)氣壓不同，真空泵可分為低真空泵、中真空泵、高真空泵、超高真空泵；根據(jù)工作原理不同，可分為氣體傳輸泵和氣體粘合或捕集泵。由于真空泵直接作用于抽氣的主要零件和端蓋之間，無相對運動接觸，因此其具有性能穩(wěn)定、維護成本低、使用壽命長、抗蝕性好、耐磨性高、硬度強等特點，被廣泛用于食品、醫(yī)藥、化工、電子、光伏、半導體等領(lǐng)域。
目前全球真空泵市場由歐洲、日本等國外企業(yè)占據(jù)領(lǐng)先地位，包括Atlas Copco、NASH佶締納士、Edwards、Leybold、Pfeiffer、EBARA荏原機械、Busch普旭等，其中2021年Atlas Copco、Pfeiffer、EBARA荏原機械三家企業(yè)占據(jù)約86%市場份額，行業(yè)集中度較高。
我國真空泵企業(yè)主要包括漢鐘精機、沈陽科儀、中科儀、華成泵業(yè)、肯來福泵業(yè)等，本土企業(yè)在細分市場光伏真空泵領(lǐng)域占據(jù)領(lǐng)先地位。真空泵為光伏設(shè)備關(guān)鍵零部件之一，是光伏電池制造環(huán)節(jié)必備器件，近年來，在國內(nèi)光伏裝機量快速增加驅(qū)動下，光伏真空泵技術(shù)不斷提升，水平已達到全球領(lǐng)先地位。根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的
《2022-2026年中國真空泵行業(yè)投資潛力及發(fā)展前景研究報告》顯示，從2021年全球光伏真空泵市場來看，本土企業(yè)漢鐘精機占據(jù)接近75%市場份額，國產(chǎn)化程度較高。
同時，本土企業(yè)在細分市場干式真空泵領(lǐng)域發(fā)展?jié)摿薮蟆０雽w是真空泵最大應用領(lǐng)域，其中干式真空泵是半導體各制程中必備通用設(shè)備，在單晶拉晶、Load-Lock、刻蝕、CVD、原子層沉積（ALD）、封裝、測試等多個環(huán)節(jié)應用較為廣泛。
近年來，在全球半導體產(chǎn)業(yè)鏈向中國大陸轉(zhuǎn)移趨勢下，我國干式真空泵市場需求不斷攀升，進而拉動其技術(shù)不斷升級、研發(fā)力度不斷加大。本土企業(yè)漢鐘精機、中科儀等逐漸打破了國外廠商在全球干式真空泵市場上的壟斷地位，占據(jù)市場份額不斷增加，2021年本土企業(yè)共計占據(jù)約6%市場份額。未來在本土企業(yè)不斷突破關(guān)鍵技術(shù)背景下，干式真空泵行業(yè)發(fā)展?jié)摿薮蟆?/div>
新思界
產(chǎn)業(yè)分析人員表示，未來在國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展以及光伏裝機容量不斷擴大背景下，干式真空泵與光伏真空泵市場需求將不斷增加，進而驅(qū)動其技術(shù)不斷突破、產(chǎn)品不斷升級，行業(yè)發(fā)展?jié)摿薮蟆Ｎ磥碓诩毞质袌隼瓌酉拢瑖鴥?nèi)真空泵市場規(guī)模將保持快速增長態(tài)勢，進口替代步伐將不斷加快，行業(yè)發(fā)展前景廣闊。
