激光跟蹤儀是一種高精度的測量儀器，主要由激光器主機、支撐架、控制器和測量軟件組成，計算機與控制器之間用網線連接，利用專業的測量軟件實現對主機的控制，完成各類測量工作。
激光跟蹤儀具有測量范圍大、測量精度高、測量速度快、操作要求低等特點，其最高測量精度可達微米量級，目前已廣泛應用于工裝的加工和檢測、大型裝配件和零件的檢測、產品的幾何形態檢測等方面，在航空航天、核工業領域有著重要的作用，尤其是在飛機裝備中應用優勢明顯。采用激光跟蹤儀進行大型飛機設備的安裝極大的提高了設備安裝的精度和設備安裝的速度。
激光跟蹤儀作為高端測量儀器具有非常高的技術進入壁壘，根據新思界發布的
《2023-2027年中國激光跟蹤儀行業市場行情監測及未來發展前景研究報告》，全球能夠生產激光跟蹤儀的企業僅有幾家，分別為美國法如科技FARO Technologies、美國API、德國徠卡Leica，這三家企業也是全球知名的儀器設備企業。美國法如科技FARO Technologies主營業務為便攜式、軟件驅動的三維測量和成像系統的生產、銷售，激光跟蹤儀產品型號為FARO ION；美國API是Teledyne旗下專門從事環境儀器的公司，激光跟蹤儀產品型號為Radian；德國徠卡Leica是世界上超一流的光學儀器專業生產供應商，激光跟蹤儀產品型號有Leica T-Scan、AT40X等。
中國激光跟蹤儀行業起步較晚，近年來隨著其應用優勢的凸顯，國內有關科研機構對激光跟蹤測量系統開展了大量研究，如清華大學、天津大學、中國飛行試驗研究院、中國人民解放軍戰略支援部隊信息工程大學等，但是僅限于原理性實驗和試制階段，距離實際工程應用還有較大差距，且研究內容不成體系。國內僅有深圳市中圖儀器股份有限公司實現了商業化生產。與美國法如科技FARO Technologies、美國API、德國徠卡Leica等企業的產品相比，中圖儀器產品在精度上差距不大，但是還存在一定不足，主要表現在搭配的軟件產品少、功能少等方面。
新思界
產業分析師表示，激光跟蹤儀是目前大尺寸工業測量和科學測量的重要手段。隨著汽車船舶、軌道交通、風電、高能粒子加速器檢測等高端智能制造行業的發展與核物理、天文等大科學工程的建造開發，激光跟蹤儀的需求空間越來越大。
