分子泵通常可分為渦輪分子泵、阻壓泵以及復合分子泵。渦輪分子泵指利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。渦輪分子泵具有維護便捷、啟動快、耐大氣沖擊、無油污染、抽速大等優勢,在金屬冶煉、電子電氣、醫療、光學儀器、航空航天等領域應用廣泛。
磁懸浮渦輪分子泵為渦輪分子泵代表產品,指基于磁懸浮技術制成的渦輪分子泵。磁懸浮渦輪分子泵行業研究最早起步于日本及德國,上世紀八十年代,日本率先制造出內環式旋轉磁懸浮渦輪分子泵,其綜合性能優良且結構合理。在本土市場方面,經過多年發展,我國磁懸浮渦輪分子泵技術成熟度不斷提升,本土企業已具備高性能產品自主研發及生產實力。
渦輪分子泵在金屬冶煉、電子電氣、醫療、光學儀器、航空航天等領域應用廣泛。在冶金領域,渦輪分子泵可抽取金屬溶液中的氣體,能有效提升金屬純度;在電子電氣領域,渦輪分子泵可用于離子注入機、光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等半導體制造設備中;在醫療領域,渦輪分子泵能制造醫藥,還能用于負壓吸引系統等醫療設備中;在航空航天領域,渦輪分子泵可用于飛機發動機系統。
根據新思界產業研究中心發布的《
2023-2028年渦輪分子泵行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示,受益于應用范圍不斷擴展,渦輪分子泵行業發展速度加快。2022年全球渦輪分子泵市場規模達到97.6億元,同比增長4.1%。在本土市場方面,隨著國家對超高真空設備行業發展高度重視,我國高性能渦輪分子泵市場占比不斷提升。目前我國已成為全球最大渦輪分子泵生產及消費國,占據全球市場近四成份額。
全球渦輪分子泵主要生產企業包括日本真空技術株式會社(ULVAC)、日本島津公司(Shimadzu)、日本株式會社大阪真空機器制作所(Osaka Vacuum)等。與海外國家相比,我國渦輪分子泵行業起步較晚,但發展勢頭迅猛,中科科儀、泰岳恒真空設備、普發真空技術等為我國市場主要參與者。
新思界
行業分析人士表示,渦輪分子泵在眾多領域應用廣泛,行業發展前景較好。受益于下游需求日益旺盛以及本土企業自主研發實力提升,我國磁懸浮渦輪分子泵等高性能產品市場占比不斷提高,這為渦輪分子泵行業發展提供有利條件。