晶圓吸盤（晶圓吸附盤）為晶圓加工重要耗材 靜電吸盤（ESC）為其代表產(chǎn)品

        晶圓吸盤又稱晶圓吸附盤，指在半導(dǎo)體制造過(guò)程中將晶圓吸附于固定盤，以便于加工的工件。晶圓吸盤需具備吸附作用力穩(wěn)定、耐磨性好、使用壽命長(zhǎng)、耐高/低溫、耐腐蝕等特性，在離子注入、刻蝕、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積等工藝中應(yīng)用較多。

        晶圓吸盤種類豐富。按照性能及吸附原理不同，晶圓吸盤可分為靜電吸盤、氣壓吸盤以及真空吸盤三種類型，其中靜電吸盤為其代表產(chǎn)品。靜電吸盤（ESC）又稱靜電卡盤，指利用靜電吸附原理，對(duì)晶圓進(jìn)行固定的吸盤，具有可調(diào)控吸附物溫度、抑制變形等作用。在行業(yè)發(fā)展初期，受技術(shù)壁壘高等因素限制，我國(guó)靜電吸盤高度依賴進(jìn)口。近年來(lái)，在國(guó)家政策推動(dòng)下，我國(guó)靜電吸盤市場(chǎng)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程有所加快，未來(lái)其行業(yè)發(fā)展前景將持續(xù)向好。

        乙丙橡膠（EPDM）、氧化鋁、氧化硅、氮化鋁、黃銅等為晶圓吸盤主要原材料。氧化硅具有抗沖擊、耐候性好、抗拉伸耐磨等優(yōu)勢(shì)，在晶圓吸盤生產(chǎn)過(guò)程中應(yīng)用較多。經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，我國(guó)氧化硅生產(chǎn)技術(shù)不斷進(jìn)步，已成為全球主產(chǎn)國(guó)之一。2022年我國(guó)氧化硅產(chǎn)量達(dá)到381.6萬(wàn)噸，同比增長(zhǎng)9.7%。原材料優(yōu)勢(shì)將為晶圓吸盤行業(yè)發(fā)展提供有利條件。

        根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2023-2027年晶圓吸盤（晶圓吸附盤）行業(yè)深度市場(chǎng)調(diào)研及投資策略建議報(bào)告》顯示，晶圓吸盤為晶圓加工重要耗材。隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展速度加快，晶圓產(chǎn)能得到快速擴(kuò)張。2022年全球晶圓代工廠產(chǎn)能同比增長(zhǎng)近15%，創(chuàng)造歷史新高。我國(guó)為8寸晶圓生產(chǎn)大國(guó)，產(chǎn)能及產(chǎn)量連續(xù)多年位居全球領(lǐng)先地位。未來(lái)隨著應(yīng)用需求日益旺盛，我國(guó)晶圓吸盤行業(yè)發(fā)展速度將進(jìn)一步加快。

        全球晶圓吸盤市場(chǎng)主要集中于日本及歐美國(guó)家，代表企業(yè)包括日本神鋼電機(jī)株式會(huì)社（SHINKO）、美國(guó)應(yīng)用材料公司（Applied Materials）、美國(guó)泛林集團(tuán)（Lam Research）等。在本土市場(chǎng)方面，目前我國(guó)企業(yè)已具備高性能晶圓吸盤研發(fā)及生產(chǎn)實(shí)力，代表企業(yè)包括華卓精科、海拓創(chuàng)新、中研股份等。

        新思界行業(yè)分析人士表示，晶圓吸盤在晶圓加工過(guò)程中應(yīng)用較多，未來(lái)伴隨下游行業(yè)發(fā)展速度加快，其市場(chǎng)空間將有所擴(kuò)展。與海外發(fā)達(dá)國(guó)家相比，我國(guó)晶圓吸盤行業(yè)起步較晚，市場(chǎng)參與者較少。預(yù)計(jì)未來(lái)一段時(shí)間，隨著本土企業(yè)自主研發(fā)實(shí)力提升以及應(yīng)用需求日益旺盛，我國(guó)晶圓吸盤行業(yè)發(fā)展速度將有所加快。

投票