晶圓吸盤又稱晶圓吸附盤，指在半導體制造過程中將晶圓吸附于固定盤，以便于加工的工件。晶圓吸盤需具備吸附作用力穩定、耐磨性好、使用壽命長、耐高/低溫、耐腐蝕等特性，在離子注入、刻蝕、等離子增強化學氣相沉積、物理氣相沉積等工藝中應用較多。
晶圓吸盤種類豐富。按照性能及吸附原理不同，晶圓吸盤可分為靜電吸盤、氣壓吸盤以及真空吸盤三種類型，其中靜電吸盤為其代表產品。靜電吸盤（ESC）又稱靜電卡盤，指利用靜電吸附原理，對晶圓進行固定的吸盤，具有可調控吸附物溫度、抑制變形等作用。在行業發展初期，受技術壁壘高等因素限制，我國靜電吸盤高度依賴進口。近年來，在國家政策推動下，我國靜電吸盤市場國產化進程有所加快，未來其行業發展前景將持續向好。
乙丙橡膠（EPDM）、氧化鋁、氧化硅、氮化鋁、黃銅等為晶圓吸盤主要原材料。氧化硅具有抗沖擊、耐候性好、抗拉伸耐磨等優勢，在晶圓吸盤生產過程中應用較多。經過多年發展，我國氧化硅生產技術不斷進步，已成為全球主產國之一。2022年我國氧化硅產量達到381.6萬噸，同比增長9.7%。原材料優勢將為晶圓吸盤行業發展提供有利條件。
根據新思界產業研究中心發布的《
2023-2027年晶圓吸盤（晶圓吸附盤）行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示，晶圓吸盤為晶圓加工重要耗材。隨著全球半導體產業發展速度加快，晶圓產能得到快速擴張。2022年全球晶圓代工廠產能同比增長近15%，創造歷史新高。我國為8寸晶圓生產大國，產能及產量連續多年位居全球領先地位。未來隨著應用需求日益旺盛，我國晶圓吸盤行業發展速度將進一步加快。
全球晶圓吸盤市場主要集中于日本及歐美國家，代表企業包括日本神鋼電機株式會社（SHINKO）、美國應用材料公司（Applied Materials）、美國泛林集團（Lam Research）等。在本土市場方面，目前我國企業已具備高性能晶圓吸盤研發及生產實力，代表企業包括華卓精科、海拓創新、中研股份等。
新思界
行業分析人士表示，晶圓吸盤在晶圓加工過程中應用較多，未來伴隨下游行業發展速度加快，其市場空間將有所擴展。與海外發達國家相比，我國晶圓吸盤行業起步較晚，市場參與者較少。預計未來一段時間，隨著本土企業自主研發實力提升以及應用需求日益旺盛，我國晶圓吸盤行業發展速度將有所加快。
