半導體專用溫控設備主要用于半導體制造過程中精確控制反應室的溫度，以實現半導體工藝制程的控溫需求，是集成電路制造過程中不可或缺的關鍵設備，主要由換熱器、控制器、壓縮機等部分構成。
半導體專用溫控設備產業鏈上游為傳感器、金屬材料、非金屬材料等原材料的供應；下游主要用于新能源、集成電路等領域。從全球市場來看，隨著人工智能、云計算等技術不斷進步，市場對高性能半導體器件的需求不斷增加，半導體市場規模不斷擴大，半導體專用溫控設備具有廣闊消費市場。2022年全球半導體市場規模超過5700億美元，半導體專用溫控設備市場規模接近7億美元。
根據新思界產業研究中心發布的
《2024-2029年中國半導體專用溫控設備行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示，從國內市場來看，隨著我國科技發展水平不斷提升，制造業轉型升級步伐逐步加快，國內企業在半導體領域的研發及創新實力不斷提升，半導體專用溫控設備市場規模呈現逐年增長的趨勢。2018我國半導體專用溫控設備市場規模約為1.1億美元，2022年市場規模超過1.5億美元，2018-2022年復合年增長率約為8%。
半導體專用溫控設備在半導體刻蝕、薄膜沉積、涂膠顯影、離子注入、化學機械拋光等環節中應用廣泛。從各環節工藝占比來看，半導體專用溫控設備在刻蝕環節占比超過60%，位列第一；薄膜沉積環節占比約為18%，位列第二；涂膠顯影環節占比超過9%，位列第三。
國外半導體行業起步較早，在半導體專用溫控設備領域具有一定技術及經驗積累，在全球市場中處于主導地位，代表性企業有ATS、GST等。我國半導體專用溫控設行業經過一段時間的發展，技術水平不斷提升，部分企業逐漸打破國外技術壟斷，在國內市場中的份額占比不斷提高。北京京儀自動化裝備技術股份有限公司是一家集研發、生產和銷售為一體的高端裝備制造企業，目前是國內唯一一家實現半導體專用溫控設備規模裝機應用的設備制造商。
新思界
行業分析人士表示，隨著半導體制造技術不斷進步，產業轉型升級步伐逐步加快，市場對半導體產品的精確度等要求將會不斷提升，半導體專用溫控設備市場需求將不斷增長，國內生產企業需要不斷加大資金投入和研發力度，提高設備穩定性、可靠性，提升自身核心競爭力。
