真空泵是制造業重要的通用設備,利用各種方法在封閉空間內產生、提高和維持真空的裝置,廣泛應用于半導體、工業真空等領域。分子泵適用于高真空和超高真空度范圍,按照軸承特性可以分為油潤滑、脂潤滑、磁懸浮三類。其中磁懸浮分子泵采用非接觸式磁懸浮軸承,具有轉速高、壽命長等特點。
分子泵于1912年誕生,德國人W.Gaede發明出世界首臺分子泵,但是初期應用較為受限。20世紀50-70年代,分子泵研發發展較快,中國也于1964年開始研發分子泵。磁懸浮分子泵于20世紀80年代開始研發,并在21世紀開始被廣泛使用。磁懸浮分子泵相對于油潤滑分子泵和脂潤滑分子泵更加節能、高效、靈活,磁懸浮無摩擦,且能更長的連續工作,適用于半導體、光伏、平板顯示新能源等領域。
新思界產業研究中心整理發布的《
2024-2028年中國磁懸浮分子泵市場行情監測及未來發展前景研究報告》顯示,近年來,中國分子泵市場規模持續增長,主要是由于下游市場需求持續增長帶動的。一方面,隨著全球半導體產業鏈向中國轉移,中國半導體產業規模持續增長,半導體領域對分子泵的需求增長;此外5G基站基建配套設施逐步完善,新能源電池、光伏設備等領域的需求也在持續增長。預計今后幾年中國分子泵市場規模也將持續增長。其中磁懸浮分子泵優勢明顯,是現代分子泵發展的主流趨勢,近年來行業發展快速,市場規模增速較快。
全球磁懸浮分子泵產品生產企業主要有德國普發Pfeiffer、英國愛德華Edwards、德國萊寶Leybold,國內企業主要有中科科儀、天津飛旋。國外分子泵企業發展較早,且相關企業在中國市場布局也較早,國內企業及科研院所對相關企業認知度較高,在市場競爭中占據優勢地位,占有較大的市場份額。德國普發Pfeiffer成立于1890年,1958年發明分子泵,產品涵蓋混合軸承分子泵及磁懸浮分子泵(如型號ATH1603)。中科科儀成立于1958年,業務領域覆蓋掃描電子顯微鏡、氦質譜檢漏儀等科學儀器設備和分子泵、真空應用設備等核心零部件及產業設備,磁懸浮分子泵產品包括CXF-200/1401、CXF-200/1402、CXF-250/2301、CXF-250/2302、CXF-320/3001、CXF-320/3002,可應用于科學研究、加速器、光伏、鍍膜、新能源、新材料、半導體等領域。天津飛旋是專業從事磁懸浮高速旋轉機械的設計、研發、生產及產業化應用的高新技術企業,其磁懸浮復合分子泵抽速范圍1000-2300L/S,最高轉速42000rpm,極限真空5*10-8Pa,應用于科研、節能玻璃、太陽能光伏、液晶面板制造等行業。