涂膠顯影設備是在光刻工序中與光刻機配合運行的關鍵處理設備，主要起到烘烤、涂膠、顯影等作用。涂膠顯影設備可以通過機械手在各系統之間傳輸和處理晶圓，從而完成晶圓的涂層、固化、顯影、堅膜等工序。根據所處工藝環節不同，涂膠顯影設備大致可分為前道設備和后道設備。目前，市面上常見的涂膠顯影設備主要有噴膠機、涂膠顯影機、涂膠機等。
涂膠顯影設備在LED、集成電路、OLED、芯片、半導體功率器件等領域中獲得廣泛應用。其中，集成電路為涂膠顯影設備最大的應用領域。近幾年，我國信息化和數字化程度不斷加深，工業電子、新能源汽車、人工智能、物聯網、云計算、消費電子等行業快速發展，集成電路作為核心零件，市場需求不斷增長。在此背景下，我國集成電路市場規模逐漸擴大。2023年，我國集成電路市場規模已經超過13100億元。涂膠顯影設備作為生產集成電路的重要工具，市場需求隨之增長。
根據新思界產業研究中心發布的
《2024-2029年涂膠顯影設備行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示，隨著全球半導體產業向中國轉移，我國半導體行業得到快速發展，涂膠顯影設備市場需求隨之增長。在此背景下，我國涂膠顯影設備市場規模逐漸擴大。2023年，我國涂膠顯影設備市場規模已經超過13億元。
由于涂膠顯影設備行業準入壁壘較高，企業數量較少，市場集中度較高。目前，全球規模較大的涂膠顯影設備企業主要有迪恩士（DNS）、東京電子（TEL）、蘇斯微（SUSS）、細美事（SEMES）、億力鑫（ELS）等。其中，東京電子（TEL）市場占比較大，已經占據了行業內壟斷地位。
在我國市場中，由于我國涂膠顯影設備行業起步較晚，被外資企業占據了大部分市場，東京電子（TEL）、迪恩士（DNS）兩家外資企業在我國市場中占比已經超過了90%。而我國涂膠顯影設備企業由于生產技術與國際先進水平之間仍存在一定差距，市場占有率相對較小。近幾年，我國涂膠顯影設備企業快速發展，生產技術水平不斷進步，未來有望實現完全國產替代。
新思界
行業分析人士表示，芯源微電子作為我國唯一一家集中于涂膠顯影設備領域的企業，通過不斷研發與產品更新，在前道生產工藝方面取得了技術性突破，逐步替代了進口產品。目前，芯源微電子已經具備了一定的高端設備量產制造能力，銷售訂單量較大幅度增加。
