涂膠顯影設(shè)備是在光刻工序中與光刻機(jī)配合運(yùn)行的關(guān)鍵處理設(shè)備，主要起到烘烤、涂膠、顯影等作用。涂膠顯影設(shè)備可以通過機(jī)械手在各系統(tǒng)之間傳輸和處理晶圓，從而完成晶圓的涂層、固化、顯影、堅(jiān)膜等工序。根據(jù)所處工藝環(huán)節(jié)不同，涂膠顯影設(shè)備大致可分為前道設(shè)備和后道設(shè)備。目前，市面上常見的涂膠顯影設(shè)備主要有噴膠機(jī)、涂膠顯影機(jī)、涂膠機(jī)等。
涂膠顯影設(shè)備在LED、集成電路、OLED、芯片、半導(dǎo)體功率器件等領(lǐng)域中獲得廣泛應(yīng)用。其中，集成電路為涂膠顯影設(shè)備最大的應(yīng)用領(lǐng)域。近幾年，我國信息化和數(shù)字化程度不斷加深，工業(yè)電子、新能源汽車、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、云計(jì)算、消費(fèi)電子等行業(yè)快速發(fā)展，集成電路作為核心零件，市場需求不斷增長。在此背景下，我國集成電路市場規(guī)模逐漸擴(kuò)大。2023年，我國集成電路市場規(guī)模已經(jīng)超過13100億元。涂膠顯影設(shè)備作為生產(chǎn)集成電路的重要工具，市場需求隨之增長。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的
《2024-2029年涂膠顯影設(shè)備行業(yè)深度市場調(diào)研及投資策略建議報(bào)告》顯示，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國轉(zhuǎn)移，我國半導(dǎo)體行業(yè)得到快速發(fā)展，涂膠顯影設(shè)備市場需求隨之增長。在此背景下，我國涂膠顯影設(shè)備市場規(guī)模逐漸擴(kuò)大。2023年，我國涂膠顯影設(shè)備市場規(guī)模已經(jīng)超過13億元。
由于涂膠顯影設(shè)備行業(yè)準(zhǔn)入壁壘較高，企業(yè)數(shù)量較少，市場集中度較高。目前，全球規(guī)模較大的涂膠顯影設(shè)備企業(yè)主要有迪恩士（DNS）、東京電子（TEL）、蘇斯微（SUSS）、細(xì)美事（SEMES）、億力鑫（ELS）等。其中，東京電子（TEL）市場占比較大，已經(jīng)占據(jù)了行業(yè)內(nèi)壟斷地位。
在我國市場中，由于我國涂膠顯影設(shè)備行業(yè)起步較晚，被外資企業(yè)占據(jù)了大部分市場，東京電子（TEL）、迪恩士（DNS）兩家外資企業(yè)在我國市場中占比已經(jīng)超過了90%。而我國涂膠顯影設(shè)備企業(yè)由于生產(chǎn)技術(shù)與國際先進(jìn)水平之間仍存在一定差距，市場占有率相對較小。近幾年，我國涂膠顯影設(shè)備企業(yè)快速發(fā)展，生產(chǎn)技術(shù)水平不斷進(jìn)步，未來有望實(shí)現(xiàn)完全國產(chǎn)替代。
新思界
行業(yè)分析人士表示，芯源微電子作為我國唯一一家集中于涂膠顯影設(shè)備領(lǐng)域的企業(yè)，通過不斷研發(fā)與產(chǎn)品更新，在前道生產(chǎn)工藝方面取得了技術(shù)性突破，逐步替代了進(jìn)口產(chǎn)品。目前，芯源微電子已經(jīng)具備了一定的高端設(shè)備量產(chǎn)制造能力，銷售訂單量較大幅度增加。
