自動物料搬運(AMHS)是指在軟件系統的控制和調度下,按照生產系統的指令,通過物料搬運設備,實現物料在生產線工序間的自動搬運。AMHS系統包括軟件和硬件兩部分,其中軟件控制系統是AMHS系統的核心。AMHS硬件主要由存儲設備、傳送設備、凈化設備等組成。
AMHS系統是半導體制造的核心設備,其可替代人工進行物料搬運,降低搬運過程中的振動,提升晶圓大規模量產效率。AMHS系統在半導體制造領域應用廣泛,此外在面板、太陽能、光電顯示器件等泛半導體領域應用也日益擴大。
目前AMHS系統已經歷了第一代分離式全自動化系統、第二代一體式全自動化系統及第三代智能化AMHS系統的發展,第三代AMHS系統具有智能、大規模、隨機性、實時性、動態負載平衡等特點。AMHS系統包括RGV有軌小車、OHT天車、PGV人員推車、OHT小車、AMR移動機器人等。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2028年中國自動物料搬運系統(AMHS)市場行情監測及未來發展前景研究報告》顯示,2023年,全球AMHS系統市場規模約300億美元,預計2024-2028年,全球AMHS系統市場將以6.0%左右的年均復合增長率增長。AMHS系統分為地面方案和天車方案,8寸晶圓廠多采用地面方案,12寸晶圓廠通常采用天車方案,即OHT高架起重運輸車、OHS頭頂運輸車。
目前半導體用AMHS系統市場主要由國外企業占據主導,包括日本大福、日本村田機械、韓國SEMES等,其中日本大福是全球AMHS系統市場龍頭。半導體用AMHS系統性能影響著晶圓整體產線的運營,出于謹慎原因,晶圓廠不會輕易更換AMHS系統廠商,因此新興國產AMHS系統企業進入該領域存在極高的門檻。
隨著半導體產業向東轉移,我國已成為全球半導體制造中心,半導體用AMHS系統國產替代需求隨之釋放。近年來,得益于技術進步,我國進入AMHS系統市場的企業不斷增加,包括友上智能、愛斯達克、捷螺系統、迦智科技、成川科技、芯運智能等,AMHS系統市場競爭日益加劇。
新思界
行業分析人士表示,AMHS系統行業存在一定的進入壁壘,日本企業在全球市場上處于領先地位。我國是半導體制造大國,隨著外部政治環境的變化,AMHS系統國產替代需求釋放,本土AMHS系統企業迎來了發展機遇。目前我國AMHS系統市場布局企業較多,市場競爭激烈,未來低成本、高效率、高性能將成為AMHS系統企業開發的重要方向。