離子束拋光機是一種表面處理設(shè)備，即基于離子濺射原理，在真空狀態(tài)下，通過離子源引束產(chǎn)生等離子體能量束流，束流轟擊工件表面產(chǎn)生原子級別的材料去除，從而實現(xiàn)元件的高精度加工。
離子束拋光機通常由控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、離子源、工作臺、氣體循環(huán)系統(tǒng)等部分組成。其中控制系統(tǒng)具有操作和監(jiān)控設(shè)備的作用；真空系統(tǒng)用于提供工作環(huán)境，以確保離子束的穩(wěn)定性；離子源是離子束拋光機的最核心部分，作用是利用電磁場加速離子形成離子束；工作臺用于支撐或控制工件；氣體循環(huán)系統(tǒng)主要負(fù)責(zé)廢氣回收和處理。
離子束拋光機是非接觸式加工設(shè)備，相比于傳統(tǒng)拋光設(shè)備，具有加工精度高、維護費用低、不產(chǎn)生亞表面損傷、可加工任意形狀曲面等優(yōu)勢。離子束拋光機適用于特殊、大面積、異型等材料的超高精度修形及拋光，在半導(dǎo)體、生化檢測、航天航空零部件、光學(xué)鏡片、精密模具、醫(yī)療器械、汽車等超精密制造領(lǐng)域應(yīng)用日益廣泛。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2024-2028年中國離子束拋光機市場行情監(jiān)測及未來發(fā)展前景研究報告》顯示，離子束拋光機行業(yè)存在一定的技術(shù)、研發(fā)和生產(chǎn)壁壘，行業(yè)進入門檻較高，受此限制，目前離子束拋光機生產(chǎn)企業(yè)相對較少，主要包括德國NTG公司、美國伊士曼柯達、博頓光電、長沙埃福思科技、至臻光學(xué)、埃德萬斯、天創(chuàng)精工科技等企業(yè)。
近年來，得益于零部件供應(yīng)能力提升、技術(shù)突破以及國家政策支持，我國離子束拋光機國產(chǎn)替代步伐逐漸加快。如至臻光學(xué)研制出了國內(nèi)首臺離子束超精密拋光機，并實現(xiàn)推廣商用，打破了國外超精密拋光技術(shù)卡脖子問題，2024年至臻光學(xué)新研發(fā)制造基地正式投產(chǎn)，標(biāo)志著其超精密光學(xué)元件制造能力進一步提升；博頓光電解決了國內(nèi)在高端離子源及離子束設(shè)備領(lǐng)域存在的供應(yīng)短缺、價格高的問題，離子源核心部件成本實現(xiàn)了大幅降低。
新思界
行業(yè)分析人士表示，在發(fā)展趨勢上，為滿足多方位應(yīng)用需求，離子束拋光機將不斷向智能化、超高精度、多功能化等方向發(fā)展。離子束拋光機屬于高端設(shè)備，在制造業(yè)升級背景下，我國離子束拋光機市場存在巨大的發(fā)展和需求空間，未來隨著設(shè)備價格下降，離子束拋光機應(yīng)用將更加廣泛。
