白光干涉儀，又稱光學輪廓儀或光學3D表面輪廓儀，是利用白光干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器，由干涉物鏡、成像系統、圖像采集系統、垂直掃描系統等部分組成。
白光干涉儀具有測量速度快、非接觸式測量、測量精度高、垂直測量范圍大等特點，在半導體、光學加工、生物醫學、航空航天等領域廣泛應用。在半導體領域，白光干涉儀可用于測量芯片薄膜厚度、臺階高度等參數，有助于保障芯片性能和可靠性；在光學加工領域，白光干涉儀可用于測量光學元件的表面粗糙度、面形精度等參數，有助于優化光學加工工藝，提高光學元件質量；在生物醫學領域，白光干涉儀可用于生物組織結構、細胞成像等測量。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2029年全球及中國白光干涉儀行業研究及十五五規劃分析報告》顯示，隨著技術進步、半導體等下游行業快速發展，白光干涉儀作為重要光學儀器，市場得到持續發展。2024年全球白光干涉儀市場規模約為17億元，預計2025-2031年期間其市場將繼續以4.4%年復合增長率增長。
國外白光干涉儀生產企業包括Bruker、ZYGO、Sensofar、Micro-Epsilon等。國外企業憑借成熟技術長期占據我國高端白光干涉儀市場，隨著相關企業和機構研發力度加大，我國白光干涉儀行業技術水平不斷提升。
我國白光干涉儀相關研發、生產單位包括深圳市中圖儀器股份有限公司、新啟航半導體有限公司、南京英特飛光電技術有限公司、板石智能科技（深圳）有限公司、淮陰師范學院、重慶孚納科技有限公司等。深圳市中圖儀器股份有限公司SuperView系列白光干涉儀具有大范圍掃描、快速自動化調平等優點，在我國晶圓檢測領域市場占有率領先。
淮陰師范學院團隊研發的《創“智”檢，強國“芯”——尖端光學智能檢測系統》項目，榮獲第十三屆“挑戰杯”中國大學生創業計劃競賽金獎，其涉及的“白光干涉儀”，具有漏檢率低、檢測效率高等優點，解決了國內半導體檢測設備漏檢率高的現狀。
新思界
行業分析人士表示，白光干涉儀應用領域廣泛，包括半導體、光學加工、生物醫學、航空航天、材料科學、新能源等。在國家政策大力支持核心設備國產化、企業和科研機構技術不斷取得突破利好下，我國白光干涉儀行業朝著高端化方向持續發展，并且國產化進程加速。
關鍵字：
