CMP保持環(CMP固定環)是半導體晶片表面加工過程中化學機械拋光環節所用的裝置,安裝在CMP設備研磨頭底部,是CMP拋光頭的核心配件之一,用于固定晶圓、實現晶圓表面均勻平坦化。CMP保持環(CMP固定環)具有優異的耐磨損、耐蠕變性、耐高溫、耐化性等特點,通常由PPS、PEEK、PAI、PETP等塑料材質制成,有4英寸、6英寸、8英寸、12英寸等不同規格的產品。
CMP保持環(CMP固定環)產業鏈上游為高性能塑料生產行業,相關供應商包括中研股份、鵬孚隆、君華特塑、恩欣格、威格斯、贏創、索爾維等;產業鏈中游是Ensinger、AKT Components Sdn Bhd、CALITECH、瑞耘科技、江豐電子、愛科精工等CMP保持環(CMP固定環)生產企業;下游是CMP設備行業,CMP設備生產的主要企業有美國應用材料、日本荏原、中國的晶亦精微及華海清科。
從國內CMP保持環(CMP固定環)市場競爭格局來看,現階段國內CMP保持環(CMP固定環)市場主要由AKT Components Sdn Bhd、Ensinger、CALITECH等外資企業主導,這些企業擁有先進的技術和豐富的經驗,能夠生產出高質量、高穩定性的CMP保持環產品,并與美國應用材料、日本荏原、韓國KC Tech、東京精密等CMP設備企業建立了穩定的合作關系。中國本土企業如江豐電子、愛科精工雖對進口品牌形成一定替代,但市場占有率仍比較低。
從CMP保持環(CMP固定環)細分市場來看,根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2030年CMP保持環(CMP固定環)行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示,PEEK材質CMP保持環(CMP固定環)和PPS材質CMP保持環(CMP固定環)是市場中主流的CMP保持環(CMP固定環)產品。其中,中國本土企業生產的CMP保持環(CMP固定環)產品主要以PPS為原材料,而國外企業生產的CMP保持環(CMP固定環)主要以PEEK為原材料。
新思界
產業分析人士表示,CMP保持環(CMP固定環)的材料、溝槽數、溝槽寬度、溝槽形狀等因素均會對CMP設備的拋光效果(粗糙度、平坦度、去除率等)產生影響,現階段國內對CMP保持環(CMP固定環)的研究主要集中在產品設計方面,通過優化CMP保持環(CMP固定環)設計,達到增加拋光效率、降低生產成本的目的。未來,國內相關企業及研究機構將會繼續優化CMP保持環(CMP固定環)的結構設計,并將通過技術創新來提高CMP保持環(CMP固定環)的綜合性能、降低其產品生產成本。
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