稀土是指十七種稀土元素，包括鑭、鈰、釹等輕稀土，鋱、鏑等中稀土，鐿、鈧、釔等重稀土。以一種高純度的稀土元素為材料制備的可用高能粒子轟擊，使表面組分以原子形式濺射出來，沉積在基材表面形成薄膜的材料，即稀土金屬靶材。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2030年稀土金屬靶材行業風險投資態勢及投融資策略指引報告》顯示，稀土金屬靶材可以廣泛應用在光學薄膜、磁性材料、傳感器等制造領域，在高技術產業中地位重要。稀土金屬靶材包括稀土金屬平面靶材、稀土金屬旋轉靶材兩大類。稀土金屬平面靶材通常為圓形、方形，使用時與背靶連接再進行轟擊；稀土金屬旋轉靶材通常為圓筒形，使用時以一定的速度旋轉同時進行轟擊。
稀土金屬靶材種類較多，以稀土金屬鈰靶材為例，鈰，化學符號Ce，銀白色金屬，有延展性，熔點795℃，可在空氣中燃燒，可與水發生反應，可溶于酸，20℃時電阻率73×10^-8Ω·m，稀土金屬鈰靶材可以制成平面靶材、旋轉靶材應用在半導體、平板顯示、光學元件等制造領域。
鐿，化學符號Yb，銀白色金屬，質地軟，有延展性，熔點824℃，在空氣中可緩慢氧化，可與水發生反應，可溶于稀酸、液氨。稀土金屬鐿靶材主要應用在OLED屏幕制造中，可用于金屬陰極層制備方面，與鎂、銀陰極相比，能夠降低能耗、提高分辨率、提升色彩飽和度。
我國稀土金屬靶材開發與生產企業主要有包頭稀土研究院、中國有研科技集團有限公司、湖南高創稀土新材料有限責任公司等。
早期，我國高純度稀土金屬鐿靶材需求主要依靠進口，在我國平板顯示產業核心競爭力不斷增強、OLED產能規模不斷擴大背景下，為避免被卡脖子，高純度稀土金屬鐿靶材必須實現自主生產。包頭稀土研究院開發出低成本、高效率的高純稀土金屬鐿靶材制備工藝，目前已經建成國際領先的OLED用高純度金屬鐿靶材生產線，年產能約10噸。
釹鐵硼是人造永磁材料，磁性能好、機械性能好、能量密度高，在3C電子、新能源汽車等多個領域應用價值大。中國有研科技集團有限公司開發的高性能釹鐵硼用稀土金屬平面和旋轉靶材，可以制備高矯頑力、高剩磁的釹鐵硼永磁材料，能夠大幅降低高值重稀土鋱/鏑用量，已經建成年產10萬片平面靶和1200支旋轉靶的生產線。
新思界
行業分析人士表示，除此之外，湖南高創稀土新材料有限責任公司在湖南瀏陽建設了年產25噸高純稀土金屬靶材及2000噸高端稀土合金產業化項目，一期包括高純金屬鈧、稀土金屬靶材、高端稀土鎂合金三條生產線，計劃年產2噸金屬鈧、3噸鋁鈧合金靶、20噸鋱鏑靶。
關鍵字：
