勻膠鉻版，又稱光罩基板、石英光掩模基板，指將鉻金屬層沉積于基板上制成的高精密硬面光掩模材料。勻膠鉻版具備缺陷密度低、感光靈敏度高、分辨率高、使用壽命長、耐磨性好、化學穩定性佳、易清潔等優勢，在顯示面板、集成電路、精密電子元件等眾多領域應用廣泛。
勻膠鉻版制備難度較大，通常利用直流磁控濺射法，先將氮化鉻-氮氧化鉻薄膜沉積于基板上制得鉻膜基板，再在其表面涂覆光致抗蝕劑，最后經過圖形轉移制得成品。勻膠鉻版的生產流程較為復雜，需對各項參數進行嚴格把控，以避免出現圖形失真問題。我國企業集中于生產中低端勻膠鉻版，高端需求依賴進口，這是行業發展面臨的主要挑戰。
近年來，我國勻膠鉻版相關專利數量不斷增加，主要包括《一種雙面勻膠鉻版》、《一種勻膠鉻版自動旋涂機》、《一種勻膠鉻版檢查裝置》、《一種用于勻膠鉻版檢查的輪滑托盤裝置》等。未來隨著研究不斷深入，我國勻膠鉻版技術水平將得到進一步提升。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2029年全球及中國勻膠鉻版（光罩基板）行業研究及十五五規劃分析報告》顯示，勻膠鉻版在眾多領域應用廣泛，主要包括顯示面板、集成電路、精密電子元件等。在集成電路領域，勻膠鉻版可用于承載集成電路設計圖形轉印。近年來，伴隨全球半導體產業逐漸向我國大陸轉移，我國集成電路行業發展速度有所加快。據國家工信部統計數據顯示，2025年上半年我國集成電路產量達到2395億塊，同比增長8.7%。在此背景下，我國勻膠鉻版市場需求將進一步增長。
我國勻膠鉻版主要生產企業包括湖南普照信息材料有限公司、東莞市宏誠光學制品有限公司、東莞市準納光電科技有限公司。普照材料專注于高精度光掩膜基板材料的研發、生產及銷售，為我國最早實現勻膠鉻版規模化生產的企業。2025年2月，普照材料完成7.4億元B輪融資，資金將用于其半導體用掩模基板項目建設過程中。
新思界
行業分析人士表示，勻膠鉻版為光掩膜版基材，在集成電路制造過程中需求旺盛。未來隨著我國集成電路行業發展速度加快，勻膠鉻版市場空間將得到進一步擴展。與海外發達國家相比，我國勻膠鉻版行業起步較晚，技術水平相對落后。未來隨著本土企業持續發力，我國勻膠鉻版產量及質量有望提升。
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