電子級(jí)四氯化鉿市場(chǎng)空間不斷增大 我國產(chǎn)能規(guī)模還在擴(kuò)大

　　電子級(jí)四氯化鉿，是指純度達(dá)到99.95%及以上的高純度四氯化鉿。

 

　　四氯化鉿，分子式HfCl4，分子量320.302，外觀為白色結(jié)晶粉末狀，有腐蝕性，會(huì)灼傷眼睛、皮膚，對(duì)呼吸系統(tǒng)有刺激性，熔點(diǎn)320℃，可升華，易溶于甲醇、丙酮等有機(jī)溶劑，遇水發(fā)生反應(yīng)釋放出有毒氣體，暴露在空氣中易吸濕分解，需密封存儲(chǔ)。

 

　　根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2025年中國電子級(jí)四氯化鉿市場(chǎng)專項(xiàng)調(diào)研及企業(yè)“十五五規(guī)劃”建議報(bào)告》顯示，電子級(jí)四氯化鉿主要應(yīng)用在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，用作半導(dǎo)體前驅(qū)體材料，采用原子層沉積法（ALD）、化學(xué)氣相沉積法（CVD）等工藝，沉積生長鉿基薄膜。鉿基薄膜具有高介電常數(shù)特點(diǎn)，是制造新一代小尺寸、高性能晶體管柵極介電層的關(guān)鍵材料之一。電子級(jí)四氯化鉿能夠滿足芯片工藝制程不斷縮小的發(fā)展趨勢(shì)要求，市場(chǎng)空間正在不斷增大。除此之外，憑借優(yōu)良的光學(xué)性能、機(jī)械性能、熱穩(wěn)定性能，電子級(jí)四氯化鉿也可以應(yīng)用在光學(xué)薄膜、大功率LED、近紅外光電器件、超高溫陶瓷等制造領(lǐng)域。

 

　　提純技術(shù)的優(yōu)劣直接影響電子級(jí)四氯化鉿的產(chǎn)品純度與品質(zhì)。近年來，我國電子級(jí)四氯化鉿提純工藝與生產(chǎn)裝置相關(guān)專利還在增多，主要有福建純銘新材料科技有限公司“一種電子級(jí)四氯化鉿的制備裝置”，湖南省華京粉體材料有限公司“一種電子級(jí)四氯化鉿的提純方法”，貴州威頓晶磷電子材料股份有限公司“一種電子級(jí)四氯化鉿的提純方法”等。

 

　　2025年5月，湖南省華京粉體材料有限公司“一種電子級(jí)四氯化鉿的提純方法”的專利授權(quán)公告，該專利在惰性氣體保護(hù)下，將四氯化鉿粗品置入石英舟，經(jīng)抽真空、升溫、升華提純、降溫收集等工藝環(huán)節(jié)，可以獲得純度達(dá)到5N、6N級(jí)別的電子級(jí)四氯化鉿產(chǎn)品。

 

　　在我國市場(chǎng)中，電子級(jí)四氯化鉿生產(chǎn)商主要有先導(dǎo)科技集團(tuán)有限公司，可以提供99.95%純度產(chǎn)品；湖南奕嘉新材料有限公司，可以提供純度≥99.99%產(chǎn)品；湖南省華京粉體材料有限公司，可以提供純度99.9%-99.99%產(chǎn)品；江蘇南大光電材料股份有限公司以及合肥安德科銘半導(dǎo)體科技有限公司等。

 

　　新思界行業(yè)分析人士表示，我國電子級(jí)四氯化鉿產(chǎn)能規(guī)模還在擴(kuò)大。2025年5月，江西華特電子化學(xué)品有限公司“華特電子永修半導(dǎo)體新材料中試基地項(xiàng)目”環(huán)境影響報(bào)告書擬批準(zhǔn)公示，一期建設(shè)項(xiàng)目中包括四氯化鉿產(chǎn)能。除此之外，三祥新材股份有限公司也在積極布局電子級(jí)四氯化鉿市場(chǎng)。

 

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