電子級四氟化硅，是一種電子特氣，是指純度在99.99%及以上的應(yīng)用在電子工業(yè)中的四氟化硅產(chǎn)品。
四氟化硅，化學(xué)式SiF4，外觀為無色氣體狀，有窒息性氣味，有毒性，有腐蝕性，密度3.57g/mL，熔點-90℃，沸點-86℃，可溶于乙醇、硝酸、氫氟酸，不溶于乙醚，遇水水解，暴露在空氣中可產(chǎn)生煙霧，不可燃燒。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的
《2025年中國電子級四氟化硅市場專項調(diào)研及企業(yè)“十五五規(guī)劃”建議報告》顯示，電子級四氟化硅在電子工業(yè)中可以發(fā)揮重要作用。電子級四氟化硅可用作硅源，例如用來制備電子級硅烷、多晶硅，應(yīng)用在太陽能電池制造領(lǐng)域，用來制備高純石英玻璃，應(yīng)用在光纖預(yù)制棒制造中。電子級四氟化硅可用作反應(yīng)氣體，例如用作刻蝕氣體，用于氮化硅、硅化鉭等材料蝕刻方面，用作摻雜劑，制造p型半導(dǎo)體，進而用來生產(chǎn)發(fā)光二極管，用作前驅(qū)體材料，在襯底上沉積得到低介電常數(shù)的二氧化硅薄膜絕緣層。
我國現(xiàn)行的電子級四氟化硅國家標準是（GB/T 31058-2014）《電子工業(yè)用氣體 四氟化硅》，于2015年7月1日實施。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展、集成電路技術(shù)不斷進步，此版國家標準已經(jīng)無法滿足電子工業(yè)發(fā)展需求。2025年4月，《電子氣體 四氟化硅》國家標準征求意見稿編制說明發(fā)布，我國電子級四氟化硅國家標準將重新修訂。
電子級四氟化硅的制備工藝主要有六氟硅酸鹽熱分解法、螢石硫酸法、單質(zhì)硅直接氟化法等。其中，六氟硅酸鹽熱分解法在工業(yè)生產(chǎn)中較為常見，其以氟硅酸鈉（Na2SiF6）為原料，經(jīng)高溫加熱分解為四氟化硅、氟化鈉，收集氣態(tài)四氟化硅經(jīng)冷凝、精餾、吸附等工藝環(huán)節(jié)獲得電子級四氟化硅。
新思界
行業(yè)分析人士表示，在我國市場中，電子級四氟化硅布局企業(yè)主要有：綠菱電子材料（天津）有限公司，于2017年建設(shè)并投產(chǎn)了300噸/年的電子級四氟化硅生產(chǎn)裝置；浙江中寧硅業(yè)股份有限公司，于2022年實現(xiàn)了300噸/年、99.999%純度集成電路高純四氟化硅產(chǎn)能投產(chǎn)；中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司，可以提供純度達5N級別的大規(guī)模集成電路用四氟化硅。現(xiàn)階段，國產(chǎn)電子級四氟化硅已經(jīng)進入中芯國際、京東方等企業(yè)供應(yīng)鏈，并向海外市場出口。
我國電子級四氟化硅行業(yè)產(chǎn)能還將擴大。威斯特（東營）特種氣體有限公司規(guī)劃建設(shè)“威斯特氣體年產(chǎn)41噸電子新材料項目”，分兩期建設(shè)，二期項目建設(shè)內(nèi)容中包括電子級四氟化硅生產(chǎn)裝置。
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