三氯化硼，化學式為BCl3，外觀為無色發煙液體或氣體狀，有刺激性酸味，有毒性，屬于危險化學品。三氯化硼易潮解，遇水可分解為氯化氫、硼酸，可溶于醇，并可分解為鹽酸、硼酸酯，可溶于苯、二硫化碳等部分有機溶劑。電子級三氯化硼是應用于半導體、集成電路領域的高純三氯化硼，其純度需達到99.999%以上。
電子級三氯化硼用于電子產業中，可用在半導體硅器件、集成電路制造過程中的離子注入、擴散摻雜、干法蝕刻等環節中，可對鋁、二硅化鉬、二硅化鎢、鈦硅合金等金屬、金屬化合物、合金材料進行蝕刻，具有較強的不可替代性。電子級三氯化硼雜質含量與純凈度直接影響半導體器件、集成電路的性能指標與成品率，其純度要求在5N級以上，生產技術壁壘高。
三氯化硼生產是在惰性氣體環境中，在一定溫度條件下，以硼粉與氯氣為原料，進行反應得到粗品，再經精餾制得三氯化硼。電子級三氯化硼是在精制三氯化硼的基礎上，采用吸附、蒸餾等工藝進行提純，得到最終產品。
根據新思界產業研究中心發布的
《2021-2025年電子級三氯化硼行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示，由于技術壁壘高，2018年以前，我國不具備電子級三氯化硼生產能力，市場需求依靠進口，主要進口自美國空氣化工、美國普萊克斯、英國BOC集團等企業。我國電子產業發展迅速，關鍵原材料依靠進口不僅價格高昂、供貨周期長，在國際政治經濟形勢多變情況下，供貨穩定性也存在風險，不利于我國電子產業發展，國產電子級三氯化硼需求迫切。
2018-2019年，我國陸續有電子級三氯化硼項目建設，例如安徽艾佩科的100噸/年產線，深冷能源的200噸/年產線，太和氣體的150噸/年產線。2020年，山東易信環保的100噸/年電子級三氯化硼項目被批準為2020年山東省重點建設類項目；2021年6月，鶴壁德瑞科技年產3000噸電子化學品項目進入環評，其一期項目包括300噸/年電子級三氯化硼產能；海寧英德賽電子的1000噸/年電子級三氯化硼產能預計2021下半年可實現投產。
新思界
行業分析人士表示，我國電子級三氯化硼行業規模正在不斷擴大，產能正在不斷擴張，若生產的產品質量穩定能夠達到下游客戶要求，將逐步得到市場認可，在國內市場中的占有率有望不斷提升。若目前已建成或正在建設的本土電子級三氯化硼產能能夠持續穩定供貨，我國電子級三氯化硼進口依賴度將持續下降。
