三氟化氯，分子式為ClF3，常溫下外觀為無色氣體狀，低溫可液化，外觀為綠色液體狀。三氟化氯是一種無機化合物，有毒性，有強腐蝕性，是已知的性質最為活潑的化合物之一，是一種強氧化劑、強氟化劑，屬于危險化學品。
三氟化氯遇水會發生劇烈反應而爆炸，可以與大多數有機材料、無機材料發生反應，反應劇烈有爆炸危險，分解產物為有毒氟化氫，可以侵蝕玻璃、石棉，可以腐蝕有濕氣石英，可以與金屬元素發生反應。三氟化氯可以存儲在具有金屬氟化物保護層的金屬容器中，純凈的三氟化氯在180℃以下可以存儲在玻璃容器中。
三氟化氯的制備方式是以氯氣、氟氣為原料，按照1:3的比例混合，通入鎳或蒙乃爾合金制成的反應器中，在290℃溫度條件下反應制得，副產物為氟化氯。
三氟化氯可以應用在核電、航空航天、半導體、化工、金屬加工等產業中。在核電領域，三氟化氯可用來生產六氟化鈾（UF6），六氟化鈾是一種性質穩定的鈾的氣態化合物，可用作核燃料；在航空航天領域，三氟化氯可用作火箭發動機燃料助燃劑；在半導體領域，三氟化氯可用于芯片蝕刻、硅片清洗等方面；在化工領域，三氟化氯可生產有機氟化物、無機氟化物；在金屬加工領域，三氟化氯可用作高溫金屬切割材料。
新思界
行業分析人士表示，我國半導體產業發展迅速，產業規模龐大，三氟化氯是一種高性能蝕刻劑，可用于14nm制程以下芯片刻蝕中。我國芯片制造技術正在不斷進步，14nm芯片已經實現量產，14nm以下芯片研發能力不斷增強，未來三氟化氯需求有望不斷增長。因此，我國三氟化氯進口替代需求越來越迫切。
2021年3月，華特氣體與中國核工業集團旗下四川紅華實業有限公司簽訂高純三氟化氯研發合作協議，擬共同研發高純三氟化氯的核心技術，打破國外壟斷，實現國產化替代。未來，我國有望實現三氟化氯自主生產，但短期來看，市場需求依然依靠進口。
