乙硼烷,化學(xué)式為B2H6,屬于無(wú)機(jī)化合物,是目前能夠分離出的最簡(jiǎn)單硼烷,常溫下外觀為無(wú)色氣體狀,有特殊臭味,有劇毒,易水解,易溶于二硫化碳。乙硼烷在潮濕空氣中易爆炸,室溫下可分解,能與多種有機(jī)溶劑及金屬發(fā)生劇烈反應(yīng),因此乙硼烷存儲(chǔ)條件要求高,需要存儲(chǔ)在低溫、干燥環(huán)境中,并遠(yuǎn)離熱源、明火以及氧化劑、鹵素等物質(zhì)。
工業(yè)上乙硼烷制備通常是在真空條件下,以氫化鈉、三氟化硼為原料,在有機(jī)溶劑中反應(yīng)制得粗品,再經(jīng)冷凝提純等工藝得到高純產(chǎn)品,副產(chǎn)物為氟化鈉。乙硼烷其他制備方法還有:以硼氫化鈉、硫酸為原料反應(yīng)制得;以四氫硼酸鉀、磷酸為原料反應(yīng)制得等。
乙硼烷可用作摻雜源,用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中;用作高能燃料,用于火箭、導(dǎo)彈制造中;用作有機(jī)合成原料,用于化工產(chǎn)業(yè)中;用來(lái)制備高純度硼單晶;還可用于制藥、金屬焊接等領(lǐng)域。其中,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是乙硼烷的重要下游市場(chǎng)。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的
《2021-2025年乙硼烷行業(yè)深度市場(chǎng)調(diào)研及投資策略建議報(bào)告》顯示,硅晶圓加工需要采用電子特氣、濕電子化學(xué)品進(jìn)行清洗、光刻、蝕刻、外延、摻雜等工藝,摻雜是指引入特定元素來(lái)增強(qiáng)硅晶圓的電學(xué)性質(zhì),可采用離子注入、氧化擴(kuò)散方法,硼摻雜是主要摻雜工藝之一,是在硅晶圓中摻入乙硼烷、三氟乙硼等元素,主要用來(lái)制造P型半導(dǎo)體。除摻雜外,乙硼烷還可用于硅、鍺外延生長(zhǎng)方面。
在全球市場(chǎng)中,美國(guó)Voltaix是技術(shù)水平最高、生產(chǎn)規(guī)模最大的電子級(jí)乙硼烷生產(chǎn)商,2013年被法國(guó)液化空氣集團(tuán)收購(gòu)。乙硼烷穩(wěn)定性較差,長(zhǎng)途運(yùn)輸難度較大,在我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大的背景下,我國(guó)乙硼烷自主生產(chǎn)需求迫切。保定市北方特種氣體有限公司是我國(guó)率先實(shí)現(xiàn)高純乙硼烷量產(chǎn)的企業(yè),我國(guó)乙硼烷生產(chǎn)商還有太和氣體(荊州)有限公司等。
新思界
行業(yè)分析人士表示,除國(guó)內(nèi)企業(yè)外,受市場(chǎng)前景吸引,國(guó)外氣體生產(chǎn)商也在國(guó)內(nèi)建設(shè)乙硼烷工廠(chǎng)。2017年,日本大陽(yáng)日酸在江蘇揚(yáng)州新建特殊氣體工廠(chǎng),用來(lái)生產(chǎn)半導(dǎo)體制造用氣體乙硼烷。我國(guó)乙硼烷行業(yè)規(guī)模在不斷擴(kuò)大,但目前能夠量產(chǎn)的企業(yè)數(shù)量依然較少,由于有毒、穩(wěn)定性差、危險(xiǎn)系數(shù)高,乙硼烷生產(chǎn)對(duì)企業(yè)的技術(shù)、資質(zhì)等要求高,不具備一定實(shí)力的企業(yè)難以進(jìn)入布局。