三氟化硼，屬于無機化合物，化學(xué)式為BF3，外觀為無色氣體狀，有刺激性臭味，有毒性，有腐蝕性，有窒息性。三氟化硼可溶于冷水，可溶于部分有機溶劑，易水解，在潮濕空氣中可分解出劇毒氟化物煙霧，遇水會發(fā)生劇烈反應(yīng)分解生成氟硼酸、硼酸，可侵蝕玻璃，可腐蝕多種金屬，遇有機物可發(fā)生劇烈反應(yīng)。三氟化硼屬于危險化學(xué)品。
三氟化硼制備方法主要有：以三氧化二硼/硼酸鹽、氟化氫為原料反應(yīng)制得；以硼、氟為原料反應(yīng)制得；以硼碳混合物、氟氣為原料反應(yīng)制得；以硼砂、螢石混合物為原料，與濃硫酸反應(yīng)制得；以硼酐、氟硼酸鉀為原料，與濃硫酸反應(yīng)制得；以氟硼酸鈉為原料，采用熱分解法制得。
三氟化硼可用作半導(dǎo)體材料、火箭高能燃料、有機合成催化劑、硼同位素分離原料、化學(xué)合成原料、金屬合金防氧化劑、環(huán)氧樹脂固化劑等。高純?nèi)鹂蓱?yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，應(yīng)用在摻雜、離子注入、氧化擴散、等離子刻蝕、硅/鍺外延生長等方面。摻雜是三氟化硼的重要應(yīng)用領(lǐng)域之一，是常用的硼摻雜產(chǎn)品，可增強硅晶圓電學(xué)性質(zhì)，主要應(yīng)用于P型半導(dǎo)體生產(chǎn)中。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的
《2021-2025年三氟化硼行業(yè)深度市場調(diào)研及投資策略建議報告》顯示，我國三氟化硼研究于20世紀50年代已經(jīng)開始起步，光明化工研究設(shè)計院是最早研究三氟化硼的機構(gòu)，主要研究的是高能燃料用三氟化硼。隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展，規(guī)模不斷擴大，我國市場對電子級高純?nèi)鹦枨蟛粩嗌仙呒內(nèi)鹕a(chǎn)技術(shù)壁壘高，國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量少，產(chǎn)能小。
我國三氟化硼生產(chǎn)商有：潤泰化學(xué)南通有限公司、華谷化工股份有限公司，這兩家企業(yè)主要生產(chǎn)三氟化硼系列絡(luò)合物；山東合益氣體股份有限公司，可生產(chǎn)三氟化硼系列絡(luò)合物以及高純度三氟化硼氣體；博純材料股份有限公司、中昊光明化工研究設(shè)計院有限公司，這兩家企業(yè)可生產(chǎn)電子級三氟化硼，但兩者產(chǎn)能分別為0.5噸/年、1噸/年，產(chǎn)能小，無法滿足國內(nèi)市場需求。
除國內(nèi)企業(yè)外，日本大陽日酸也進入我國三氟化硼行業(yè)布局，其在揚州建設(shè)的電子化學(xué)品產(chǎn)線中包括三氟化硼產(chǎn)品。新思界
行業(yè)分析人士表示，總的來看，我國三氟化硼行業(yè)規(guī)模偏小，特別是電子級三氟化硼生產(chǎn)能力弱，需求主要依靠進口。未來我國三氟化硼行業(yè)擁有較大發(fā)展空間，但作為危險化學(xué)品，其生產(chǎn)對企業(yè)的技術(shù)、資質(zhì)要求高，實力較弱企業(yè)難以進入布局。
