二氯硅烷,也稱為二氯二氫硅、二氯氫硅,化學式為SiH2Cl2,英文簡稱DCS。常溫常壓下二氯硅烷外觀為無色氣體狀,有特殊氣味,有毒性,有腐蝕性,有刺激性,極易燃燒,44℃即可自燃,遇熱可分解,遇水可水解,產物為氯化氫氣體或鹽酸,可溶于乙醚、苯、四氯化碳等有機溶劑,可與乙醇、丙酮發生反應,遇鹵素、氧化劑會發生激烈反應。
二氯硅烷制備方法主要有:以硅粉、氯化氫為原料,經反應得到粗品,再經精餾提純得到成品;以硅烷/一氯硅烷、氯化氫為原料,在三氯化鋁存在下進行反應制得;以三氯氫硅為原料,通過還原法進行制備。其中,硅粉氯化氫法可制備高純二氯硅烷,是主流生產工藝。
二氯硅烷可用作甲硅烷基化劑,可用作原料合成有機硅化合物,高純二氯硅烷可作為優質半導體硅源材料使用,用于化學氣相沉積(CVD)工藝、硅外延片生長過程中。在半導體產業中,二氯硅烷可作為反應氣體生成硅原子,并將硅原子沉積在襯底上,從而生產出硅外延片。二氯硅烷是半導體、大規模集成電路制造過程中的重要硅源材料,其需求隨著電子產業發展而不斷增長。
根據新思界產業研究中心發布的
《2021-2025年二氯硅烷行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示,2019年,全球二氯硅烷市場規模約為5260萬美元,預計到2025年將增長至9730萬美元左右,年均復合增長率為10.8%,呈現快速上升態勢;2019年,中國二氯硅烷市場規模約為260萬美元,預計到2025年將增長至589萬美元左右,年均復合增長率為14.6%。受益于全球半導體產業逐步向中國大陸地區轉移,中國市場對二氯硅烷需求更為旺盛。
在全球市場中,日本是最大的二氯硅烷生產國,其電子級高純二氯硅烷年產量在全球總產量中的占比達到80%左右,處于壟斷地位,信越化學、大陽日酸是領先生產商,信越化學市場份額占比高。與日本相比,我國二氯硅烷行業起步較晚,電子級高純二氯硅烷生產能力弱,需求進口依賴度大,但我國半導體產業規模龐大,二氯硅烷必須實現進口替代。
2020年11月,唐山三孚電子材料有限公司年產500噸電子級二氯二氫硅項目正式投料試車,2021年1月,產品順利試充裝,項目工藝試車成功,未來,我國電子級二氯硅烷國產化率有望不斷提升。新思界
行業分析人士表示,現階段,我國電子級高純二氯硅烷市場被日本信越化工所壟斷,國產產品品質以及性能穩定性需達到同等級別并得到下游客戶認可,才能夠與之爭奪市場份額。