紫外光刻膠又稱UV光刻膠,是用紫外光作曝光光源,通過照射使溶解度發生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。紫外光刻膠具有分辨率高、顯影寬容度好、光學敏感性強等優勢,在半導體分立器件、顯示面板以及集成電路等領域應用較多。根據化學反應機理和顯影原理不同,紫外光刻膠可分為紫外負性光刻膠和紫外正性光刻膠兩種。
紫外光刻膠產業鏈上游為原材料及設備供應,原材料包括添加劑、感光樹脂、溶劑以及增感劑等,設備為光刻機。在原材料方面,感光樹脂占據紫外光刻膠生產成本近五成。感光樹脂含有感光性官能團,因而具有感光性,甲基丙烯酸樹脂、PHS/HS-甲基丙烯酸酯共聚物以及酚醛樹脂等為其代表產品。近年來,我國感光樹脂產量保持增長趨勢。在設備方面,受益于本土企業自主研發實力提升,我國光刻機國產化進程不斷加快,這為紫外光刻膠行業發展提供有利條件。
紫外光刻膠產業鏈中游為產品制造,包括紫外負性光刻膠和紫外正性光刻膠等。紫外負性光刻膠具有感光速度快、附著力好、阻隔效果好等優勢,但在顯影時易出現膨脹、變形等問題,為最早應用于半導體光刻工藝中的光刻膠;紫外正性光刻膠具有對比度好、階梯覆蓋好以及分辨率高等優勢,但其存在生產成高、附著力差等問題,市場占比較低。
紫外光刻膠產業鏈下游為應用領域,包括半導體分立器件、顯示面板以及集成電路等。根據新思界產業研究中心發布的《
2023-2028年中國紫外光刻膠(UV光刻膠)行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示,半導體領域為紫外光刻膠最大需求端,需求占比達到近七成。伴隨應用需求增長,我國紫外光刻膠市場空間將進一步擴大。
我國紫外光刻膠市場主要參與者包括萬潤股份、容大感光、科華微電子、廣信材料等。目前,我國紫外光刻膠企業專注于生產中低端產品,以極紫外光刻膠(EUV光刻膠)為代表的高端產品仍依賴進口,美國及日本占據我國高端市場主導地位。
新思界
行業分析人士表示,紫外光刻膠在半導體領域需求旺盛,伴隨下游行業快速發展,我國紫外光刻膠市場規模將進一步擴大。近年來,我國企業及科研機構不斷加大對極紫外光刻膠等高端產品的研發投入力度,未來伴隨技術水平提升,我國紫外光刻膠行業發展速度將進一步加快。