紫外光刻膠又稱UV光刻膠,是用紫外光作曝光光源,通過照射使溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。紫外光刻膠具有分辨率高、顯影寬容度好、光學(xué)敏感性強(qiáng)等優(yōu)勢,在半導(dǎo)體分立器件、顯示面板以及集成電路等領(lǐng)域應(yīng)用較多。根據(jù)化學(xué)反應(yīng)機(jī)理和顯影原理不同,紫外光刻膠可分為紫外負(fù)性光刻膠和紫外正性光刻膠兩種。
紫外光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈上游為原材料及設(shè)備供應(yīng),原材料包括添加劑、感光樹脂、溶劑以及增感劑等,設(shè)備為光刻機(jī)。在原材料方面,感光樹脂占據(jù)紫外光刻膠生產(chǎn)成本近五成。感光樹脂含有感光性官能團(tuán),因而具有感光性,甲基丙烯酸樹脂、PHS/HS-甲基丙烯酸酯共聚物以及酚醛樹脂等為其代表產(chǎn)品。近年來,我國感光樹脂產(chǎn)量保持增長趨勢。在設(shè)備方面,受益于本土企業(yè)自主研發(fā)實力提升,我國光刻機(jī)國產(chǎn)化進(jìn)程不斷加快,這為紫外光刻膠行業(yè)發(fā)展提供有利條件。
紫外光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈中游為產(chǎn)品制造,包括紫外負(fù)性光刻膠和紫外正性光刻膠等。紫外負(fù)性光刻膠具有感光速度快、附著力好、阻隔效果好等優(yōu)勢,但在顯影時易出現(xiàn)膨脹、變形等問題,為最早應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻工藝中的光刻膠;紫外正性光刻膠具有對比度好、階梯覆蓋好以及分辨率高等優(yōu)勢,但其存在生產(chǎn)成高、附著力差等問題,市場占比較低。
紫外光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈下游為應(yīng)用領(lǐng)域,包括半導(dǎo)體分立器件、顯示面板以及集成電路等。根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2023-2028年中國紫外光刻膠(UV光刻膠)行業(yè)市場深度調(diào)研及發(fā)展前景預(yù)測報告》顯示,半導(dǎo)體領(lǐng)域為紫外光刻膠最大需求端,需求占比達(dá)到近七成。伴隨應(yīng)用需求增長,我國紫外光刻膠市場空間將進(jìn)一步擴(kuò)大。
我國紫外光刻膠市場主要參與者包括萬潤股份、容大感光、科華微電子、廣信材料等。目前,我國紫外光刻膠企業(yè)專注于生產(chǎn)中低端產(chǎn)品,以極紫外光刻膠(EUV光刻膠)為代表的高端產(chǎn)品仍依賴進(jìn)口,美國及日本占據(jù)我國高端市場主導(dǎo)地位。
新思界
行業(yè)分析人士表示,紫外光刻膠在半導(dǎo)體領(lǐng)域需求旺盛,伴隨下游行業(yè)快速發(fā)展,我國紫外光刻膠市場規(guī)模將進(jìn)一步擴(kuò)大。近年來,我國企業(yè)及科研機(jī)構(gòu)不斷加大對極紫外光刻膠等高端產(chǎn)品的研發(fā)投入力度,未來伴隨技術(shù)水平提升,我國紫外光刻膠行業(yè)發(fā)展速度將進(jìn)一步加快。