二氯二氫硅,又稱二氯硅烷,是指一種化學式為SiH2Cl2的化學物質,常溫常壓下外觀呈無色氣體狀,有毒,有特殊氣味,可溶于苯、乙醚、四氯化碳等多數有機溶劑。根據用途不同,二氯二氫硅可分為電子級二氯二氫硅和工業級二氯二氫硅兩大類。
目前二氯二氫硅生產方法主要分為三類,分別為歧化法,是指以三氯氫硅為原料,經過催化歧化反應、分離、提純等環節生成二氯二氫硅的方法;氯化法,是指以硅粉、氯化氫為原材料,經過化學反應、精餾提純得到二氯二氫硅的方法;氰化法,是指以四氯化硅、三氯氫硅為原材料,經過化學反應生成二氯二氫硅的方法。其中通過氯化法可制備出高純度二氯二氫硅產品,是目前主流生產方法。
二氯二氫硅是一類高附加值化工產品,主要應用于電子與化工領域。在電子領域,二氯二氫硅主要作為硅源應用于硅外延生長所采取的氣相外延法工藝中,同時,其還可與氮氧化合物反應生成二氧化硅應用于集成電路絕緣層、鈍化層制造場景;在化工領域,二氯二氫硅可作為甲硅烷基化劑用于醫藥與化工產品生產場景。
其中電子是二氯二氫硅主要應用領域,電子級二氯二氫硅主要用于12寸硅外延片生產場景。當前在國內半導體產業快速發展與升級背景下,12寸硅外延片市場滲透率正不斷提升,進而帶動電子級二氯二氫硅市場需求不斷增加,行業展現出良好發展前景。
根據新思界產業研究中心發布的
《2023-2027年中國二氯二氫硅行業市場行情監測及未來發展前景研究報告》顯示,我國布局二氯二氫硅市場的企業數量較少,僅有唐山三孚電子材料、洛陽中硅高科技等少數幾家,且國內電子級二氯二氫硅需求仍主要依賴于進口。目前全球電子級二氯二氫硅產能仍主要集中在日本地區,主要企業為日本信越化學和大陽日酸。其中近幾年來,日本信越化學在全球電子級二氯二氫硅市場中占據份額均高于80%。
新思界
行業分析人士表示,二氯二氫硅是一類新型硅基材料,其主要應用于半導體制造領域。當前在我國半導體產業不斷發展與升級背景下,電子級二氯二氫硅作為12寸硅外延片關鍵硅源,其市場需求不斷增加、重要性日益凸顯。但目前國內電子級二氯二氫硅需求仍依賴于進口,未來本土企業還需加大技術與產品研發力度,國內電子級二氯二氫硅市場國產替代勢在必行。