二氯二氫硅,又稱二氯硅烷,是指一種化學(xué)式為SiH2Cl2的化學(xué)物質(zhì),常溫常壓下外觀呈無色氣體狀,有毒,有特殊氣味,可溶于苯、乙醚、四氯化碳等多數(shù)有機(jī)溶劑。根據(jù)用途不同,二氯二氫硅可分為電子級(jí)二氯二氫硅和工業(yè)級(jí)二氯二氫硅兩大類。
目前二氯二氫硅生產(chǎn)方法主要分為三類,分別為歧化法,是指以三氯氫硅為原料,經(jīng)過催化歧化反應(yīng)、分離、提純等環(huán)節(jié)生成二氯二氫硅的方法;氯化法,是指以硅粉、氯化氫為原材料,經(jīng)過化學(xué)反應(yīng)、精餾提純得到二氯二氫硅的方法;氰化法,是指以四氯化硅、三氯氫硅為原材料,經(jīng)過化學(xué)反應(yīng)生成二氯二氫硅的方法。其中通過氯化法可制備出高純度二氯二氫硅產(chǎn)品,是目前主流生產(chǎn)方法。
二氯二氫硅是一類高附加值化工產(chǎn)品,主要應(yīng)用于電子與化工領(lǐng)域。在電子領(lǐng)域,二氯二氫硅主要作為硅源應(yīng)用于硅外延生長所采取的氣相外延法工藝中,同時(shí),其還可與氮氧化合物反應(yīng)生成二氧化硅應(yīng)用于集成電路絕緣層、鈍化層制造場景;在化工領(lǐng)域,二氯二氫硅可作為甲硅烷基化劑用于醫(yī)藥與化工產(chǎn)品生產(chǎn)場景。
其中電子是二氯二氫硅主要應(yīng)用領(lǐng)域,電子級(jí)二氯二氫硅主要用于12寸硅外延片生產(chǎn)場景。當(dāng)前在國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展與升級(jí)背景下,12寸硅外延片市場滲透率正不斷提升,進(jìn)而帶動(dòng)電子級(jí)二氯二氫硅市場需求不斷增加,行業(yè)展現(xiàn)出良好發(fā)展前景。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的
《2023-2027年中國二氯二氫硅行業(yè)市場行情監(jiān)測(cè)及未來發(fā)展前景研究報(bào)告》顯示,我國布局二氯二氫硅市場的企業(yè)數(shù)量較少,僅有唐山三孚電子材料、洛陽中硅高科技等少數(shù)幾家,且國內(nèi)電子級(jí)二氯二氫硅需求仍主要依賴于進(jìn)口。目前全球電子級(jí)二氯二氫硅產(chǎn)能仍主要集中在日本地區(qū),主要企業(yè)為日本信越化學(xué)和大陽日酸。其中近幾年來,日本信越化學(xué)在全球電子級(jí)二氯二氫硅市場中占據(jù)份額均高于80%。
新思界
行業(yè)分析人士表示,二氯二氫硅是一類新型硅基材料,其主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。當(dāng)前在我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展與升級(jí)背景下,電子級(jí)二氯二氫硅作為12寸硅外延片關(guān)鍵硅源,其市場需求不斷增加、重要性日益凸顯。但目前國內(nèi)電子級(jí)二氯二氫硅需求仍依賴于進(jìn)口,未來本土企業(yè)還需加大技術(shù)與產(chǎn)品研發(fā)力度,國內(nèi)電子級(jí)二氯二氫硅市場國產(chǎn)替代勢(shì)在必行。