離子束光刻膠又稱IBL光刻膠,指專用于離子束光刻工藝的光刻膠。離子束光刻膠具有化學穩定性好、分辨率高、耐輻射、熱穩定性好等優勢,在納米壓印技術、納米科學研究、微電子制造以及生物醫學領域擁有廣闊應用前景。
離子束光刻技術(IBL)指利用氬氣、氦氣、氖氣等惰性氣體產生的離子束對于硅片表面進行轟擊刻蝕的技術,可細分為離子束投影光刻技術以及聚焦離子束光刻直寫技術兩類。離子束光刻技術具有曝光容限寬、對抗蝕劑材料要求低、能保持加工件精度、綠色環保等優勢,目前已在先進微電子制造過程中獲得廣泛應用。未來隨著離子束光刻技術不斷進步,離子束光刻膠行業發展態勢將持續向好。
離子束光刻膠為光刻膠細分產品。受益于顯示面板以及半導體等高新技術產業發展速度加快,我國光刻膠應用需求日益旺盛。2023年我國光刻膠市場規模達到近130億元,同比增長超過10%。近年來,為鼓勵行業發展,我國政府已頒布多項光刻膠相關政策,包括《重點新材料首批次應用示范指導目錄(2024年版)》、《“十四五”原材料工業發展規劃》、《產業結構調整指導目錄(2024年本)》等。未來伴隨光刻膠行業景氣度提升,我國離子束光刻膠市場空間將有所擴展。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年中國離子束光刻膠(IBL光刻膠)行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示,離子束光刻膠主要應用于納米壓印技術、納米科學研究、微電子制造以及生物醫學領域。在納米科學研究領域,離子束光刻膠可用作高級納米圖案化工具;在微電子制造領域,其可用于制造微通道網絡、微型傳感器等;在生物醫學領域,其可用于藥物釋放系統以及生物傳感器的精細加工過程中。
我國離子束光刻膠主要生產商包括安集科技、晶瑞新材、南大光電、容大感光、廣信材料等。未來伴隨本土企業持續發力,我國離子束光刻膠行業發展速度將有所加快。
新思界
行業分析人士表示,離子束光刻膠適用于離子束光刻工藝中,未來伴隨市場需求逐漸釋放,其行業發展空間將進一步擴展。受益于國家政策支持以及技術進步,我國光刻膠行業發展速度有所加快,離子束光刻膠作為其細分產品,具有綠色環保、穩定性好等優勢,未來市場占比將得到進一步提升。