PHS樹脂又稱聚對羥基苯乙烯樹脂、聚羥基苯乙烯樹脂,指以對羥基苯乙烯作為基材制成的光刻膠樹脂。與其他光刻膠樹脂相比,PHS樹脂具有極佳熱穩定性、化學穩定性、光敏性以及溶解選擇性,可用作光刻膠感光樹脂以及成膜材料。
PHS樹脂制備方法主要包括縮聚聚合法以及自由基聚合法。以上兩種方法皆存在成品質量差、反應難控制、易造成環境污染等問題。近年來,我國企業及相關科研機構不斷加大研發投入力度,已獲得多項PHS樹脂相關發明專利,主要包括《一種高分子量且窄分布PHS樹脂及其制備方法與應用》、《一種超支化聚羥基苯乙烯樹脂及其合成方法與應用》等。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024年全球及中國PHS樹脂(聚對羥基苯乙烯)產業深度研究報告》顯示,PHS樹脂作為光刻膠專用樹脂,可用于生產KrF光刻膠。KrF光刻膠指曝光光源達到248nm的光刻膠,主要用于8英寸及12英寸等大尺寸硅片制備過程中。受技術封鎖、生產成本高等因素限制,我國KrF光刻膠高度依賴進口,美國及日本等國為我國主要進口國。近年來,隨著全球半導體產業向我國大陸轉移,我國光刻膠市場國產化進程有所加快,這將為PHS樹脂行業發展提供有利條件。
2023年12月,國家工信部發布《重點新材料首批次應用示范指導目錄(2024年版)》,文件明確將KrF光刻膠專用樹脂等集成電路用光刻膠關鍵原材料和配套試劑納入“先進半導體材料和新型顯示材料”目錄。未來伴隨國家政策支持,PHS樹脂行業發展態勢將持續向好。
我國PHS樹脂市場參與者包括彤程新材、八億時空、圣泉集團等。我國PHS樹脂行業尚處于起步階段,但發展勢頭迅猛,部分企業已具備其量產能力。北京八億時空液晶科技股份有限公司專注于光刻膠材料、液晶顯示材料的研發、生產及銷售,為我國PHS樹脂代表企業。目前,八億時空正在積極推進光敏聚酰亞胺、KrF光刻膠用PHS樹脂及其衍生物的研發工作,已具備百公斤級別PHS樹脂量產能力。
新思界
行業分析人士表示,PHS樹脂作為光刻膠關鍵原材料,市場需求旺盛,行業景氣度持續提升。受益于國家政策支持以及研究深入,我國PHS樹脂技術成熟度不斷提升,已有部分企業具備其量產能力。預計未來一段時間,伴隨我國光刻膠市場國產化進程加快以及大尺寸硅片出貨量增長,PHS樹脂市場空間將得到進一步擴展。