物理氣相沉積設備，簡稱PVD設備，指采用物理方法，在真空條件下將材料源表面氣化成氣態原子或分子，最后在基材表面沉積薄膜的設備。PVD設備具備綠色環保、材料兼容性強、沉積精度高、沉積速率高以及自動化程度高等優勢，半導體制造、顯示面板、航空航天以及精密零部件等領域為其終端市場。
PVD設備通常由電源與控制系統、蒸發源系統、濺射靶材（源）系統、真空室系統、基片支架與傳動系統、真空獲得與維持系統組成。真空室系統能夠有效避免雜質對于沉積層產生影響、控制沉積速率、保持沉積層均勻性，為PVD設備重要組件。近年來，隨著技術進步，我國PVD設備組件市場國產化進程不斷加快，這將為PVD設備行業發展提供有利條件。
薄膜沉積設備主要包括三種類型，分別為PVD設備、CVD設備以及ALD設備。與其他薄膜沉積設備相比，PVD設備具備快速成膜、控制精度高、可滿足熱敏材料沉積需求等優勢，應用范圍較廣。近年來，隨著薄膜沉積設備市場占比提升，PVD設備行業發展態勢持續向好。根據新思界產業研究中心發布的《
2025年中國物理氣相沉積設備（PVD設備）市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示，2024年全球PVD設備市場規模達到近40億美元。
PVD設備在眾多領域需求旺盛，主要包括半導體制造、顯示面板、航空航天以及精密零部件等。在半導體制造領域，PVD設備可用于晶圓金屬化工藝中。近年來，隨著技術進步以及應用需求增長，我國大尺寸晶圓產能持續擴張。2024年我國12英寸晶圓月產能同比增長超過20%。在此背景下，我國PVD設備行業發展速度有望加快。
全球PVD設備主要生產企業包括美國應用材料公司（Applied Materials）、美國泛林集團（LAM）、日本真空技術株式會社（ULVAC）、日本東京電子有限公司（TEL）等。在本土方面，我國PVD設備市場主要參與者包括北方華創、東威科技、匯成真空等。北方華創為我國薄膜沉積設備代表企業，其PVD設備銷量位居我國行業領先。
新思界
行業分析人士表示，受益于薄膜沉積設備行業發展速度加快，PVD設備作為其細分產品，市場空間不斷擴展。目前，PVD設備已在眾多領域獲得廣泛應用，未來隨著市場需求日益旺盛，其行業景氣度將得到進一步提升。在市場競爭方面，我國PVD設備行業集中度較高，北方華創占據市場較大份額。
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