物理氣相沉積設(shè)備（PVD設(shè)備）市場(chǎng)規(guī)模不斷增長(zhǎng) 在眾多領(lǐng)域需求旺盛

        物理氣相沉積設(shè)備，簡(jiǎn)稱PVD設(shè)備，指采用物理方法，在真空條件下將材料源表面氣化成氣態(tài)原子或分子，最后在基材表面沉積薄膜的設(shè)備。PVD設(shè)備具備綠色環(huán)保、材料兼容性強(qiáng)、沉積精度高、沉積速率高以及自動(dòng)化程度高等優(yōu)勢(shì)，半導(dǎo)體制造、顯示面板、航空航天以及精密零部件等領(lǐng)域?yàn)槠浣K端市場(chǎng)。

        PVD設(shè)備通常由電源與控制系統(tǒng)、蒸發(fā)源系統(tǒng)、濺射靶材（源）系統(tǒng)、真空室系統(tǒng)、基片支架與傳動(dòng)系統(tǒng)、真空獲得與維持系統(tǒng)組成。真空室系統(tǒng)能夠有效避免雜質(zhì)對(duì)于沉積層產(chǎn)生影響、控制沉積速率、保持沉積層均勻性，為PVD設(shè)備重要組件。近年來，隨著技術(shù)進(jìn)步，我國PVD設(shè)備組件市場(chǎng)國產(chǎn)化進(jìn)程不斷加快，這將為PVD設(shè)備行業(yè)發(fā)展提供有利條件。

        薄膜沉積設(shè)備主要包括三種類型，分別為PVD設(shè)備、CVD設(shè)備以及ALD設(shè)備。與其他薄膜沉積設(shè)備相比，PVD設(shè)備具備快速成膜、控制精度高、可滿足熱敏材料沉積需求等優(yōu)勢(shì)，應(yīng)用范圍較廣。近年來，隨著薄膜沉積設(shè)備市場(chǎng)占比提升，PVD設(shè)備行業(yè)發(fā)展態(tài)勢(shì)持續(xù)向好。根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2025年中國物理氣相沉積設(shè)備（PVD設(shè)備）市場(chǎng)專項(xiàng)調(diào)研及企業(yè)“十五五規(guī)劃”建議報(bào)告》顯示，2024年全球PVD設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到近40億美元。

        PVD設(shè)備在眾多領(lǐng)域需求旺盛，主要包括半導(dǎo)體制造、顯示面板、航空航天以及精密零部件等。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，PVD設(shè)備可用于晶圓金屬化工藝中。近年來，隨著技術(shù)進(jìn)步以及應(yīng)用需求增長(zhǎng)，我國大尺寸晶圓產(chǎn)能持續(xù)擴(kuò)張。2024年我國12英寸晶圓月產(chǎn)能同比增長(zhǎng)超過20%。在此背景下，我國PVD設(shè)備行業(yè)發(fā)展速度有望加快。

        全球PVD設(shè)備主要生產(chǎn)企業(yè)包括美國應(yīng)用材料公司（Applied Materials）、美國泛林集團(tuán)（LAM）、日本真空技術(shù)株式會(huì)社（ULVAC）、日本東京電子有限公司（TEL）等。在本土方面，我國PVD設(shè)備市場(chǎng)主要參與者包括北方華創(chuàng)、東威科技、匯成真空等。北方華創(chuàng)為我國薄膜沉積設(shè)備代表企業(yè)，其PVD設(shè)備銷量位居我國行業(yè)領(lǐng)先。

        新思界行業(yè)分析人士表示，受益于薄膜沉積設(shè)備行業(yè)發(fā)展速度加快，PVD設(shè)備作為其細(xì)分產(chǎn)品，市場(chǎng)空間不斷擴(kuò)展。目前，PVD設(shè)備已在眾多領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用，未來隨著市場(chǎng)需求日益旺盛，其行業(yè)景氣度將得到進(jìn)一步提升。在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)方面，我國PVD設(shè)備行業(yè)集中度較高，北方華創(chuàng)占據(jù)市場(chǎng)較大份額。

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