磁懸浮無軸承泵，是以磁懸浮無軸承電機為底層技術的新型流體輸送設備，具有無摩擦、耐腐蝕、超潔凈、流量精確平穩、使用壽命長、免維護等特點。
磁懸浮無軸承電機也稱為無軸承薄片電機，是一種融合磁懸浮技術與電機驅動技術的新型電機，即通過磁場力實現轉子的無接觸懸浮支撐和旋轉驅動，無需傳統機械軸承，從而有效解決摩擦產生的顆粒雜質以及軸承潤滑劑帶來污染的問題。磁懸浮無軸承電機是磁懸浮無軸承泵實現無摩擦、超潔凈的重要組成裝置。
磁懸浮無軸承泵在半導體、制藥、光伏等領域應用價值大。在半導體領域，磁懸浮無軸承泵可用于濕法清洗、晶圓表面處理、CMP（化學機械拋光）等環節；在制藥領域，磁懸浮無軸承泵可用于灌注培養、深層過濾、切向流過濾（TFF）等環節；在光伏領域，磁懸浮無軸承泵可用于太陽能電池濕法刻蝕環節。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2029年全球及中國磁懸浮無軸承泵行業研究及十五五規劃分析報告》顯示，隨著半導體、制藥等下游行業對相關工藝設備潔凈度、精度等性能要求提升，磁懸浮無軸承泵市場發展前景廣闊。在細分市場方面，2024年全球制藥用磁懸浮無軸承泵市場規模約為1.3億元，預計2025-2031年期間其市場將以14.8%年復合增長率（CAGR）增長。
全球磁懸浮無軸承泵市場生產企業包括Levitronix、槃實科技（深圳）有限公司、盛奕半導體科技（無錫）有限公司、蘇州蘇磁智能科技有限公司等。槃實科技（深圳）有限公司是我國具備磁懸浮無軸承泵量產實力的領先企業，其自主研發的PT-BPS系列磁懸浮無軸承泵產品（微電子領域），具有無脈動、超潔凈、體積小、流量自動維持等多種優點，可廣泛應用于濕法清洗、濕法刻蝕等關鍵工藝環節，目前已為國內多家頭部半導體設備企業批量供貨。
新思界
行業分析人士表示，磁懸浮無軸承泵具有多種優點，在半導體、制藥、光伏、精細化工等領域應用前景廣闊。受磁懸浮技術限制，磁懸浮無軸承泵行業進入壁壘高，我國行業長期依賴進口。槃實科技是我國磁懸浮無軸承泵市場領先生產企業，旗下產品可實現進口替代，并且產品核心部件全部自研自產，有效保障產業鏈安全。在頭部企業不斷加強技術創新力度下，我國磁懸浮無軸承泵國產化進程加速。
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