四(二甲胺基)鉿，也稱四(二甲氨基)鉿、四(二甲基氨基)鉿，英文簡稱TDMAH或TDMAHf，分子式C8H24HfN4，分子量354.793，CAS號19782-68-4，外觀為無色至淡黃色結(jié)晶固體狀，對眼睛、皮膚有腐蝕性，密度1.098g/mL，熔點26-29℃，沸點60℃，閃點43℃，易燃燒，遇水劇烈反應釋放出易燃氣體，存儲需密封并遠離火種、熱源。
鉿基薄膜具有高介電常數(shù)特點，可以制備得到厚度更薄的膜層，作為晶體管柵極介電層材料使用時，能夠避免傳統(tǒng)硅基薄膜介電層因過薄而導致的柵極直接隧穿漏電問題，可以滿足小尺寸晶體管制造需求，進而滿足芯片行業(yè)技術發(fā)展要求。在芯片性能不斷提高、尺寸不斷縮小背景下，四(二甲胺基)鉿作為鉿基薄膜前驅(qū)體材料，在替代傳統(tǒng)硅基薄膜前驅(qū)體材料方面發(fā)展前景廣闊。
在我國，四(二甲胺基)鉿制備方法相關專利申請數(shù)量不斷增多，主要有南京大學“四(二甲胺基)鉿的合成方法”，浙江博瑞電子科技有限公司“一種四(二甲氨基)鉿的制備方法”與“一種四(二甲氨基)鉿的精制方法”，合肥安德科銘半導體科技有限公司“一種四(二甲胺基)鉿的制備方法”等。
其中，浙江博瑞電子科技有限公司“一種四(二甲氨基)鉿的制備方法”專利，是在有機溶劑存在下，在正丁基鋰提供的堿性環(huán)境中，以二甲基胺、四氯化鉿為原料，添加催化劑進行脫酸反應，制備得到四(二甲氨基)鉿，具有方法簡單、原料利用率高、反應速度快、收率高、產(chǎn)物純度高等特點。
新思界
行業(yè)分析人士表示，我國四(二甲胺基)鉿市場布局企業(yè)主要有南京大學材料MO源研究開發(fā)中心、江蘇南大光電材料股份有限公司、合肥安德科銘半導體科技有限公司等。2025年5月，江西華特電子化學品有限公司華特電子永修半導體新材料中試基地項目環(huán)境影響報告書擬批準公示，一期建設項目中包括四(二甲氨基)鉿生產(chǎn)線。我國四(二甲胺基)鉿生產(chǎn)能力還在不斷提升。
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